盛美半导体设备(上海)股份有限公司顾昱获国家专利权
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龙图腾网获悉盛美半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利支撑装置及基板退火设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119920747B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411351739.7，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权支撑装置及基板退火设备是由顾昱;王玉玺;杨宏超;王晖;王坚设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本支撑装置及基板退火设备在说明书摘要公布了：本申请揭示了一种支撑装置及基板退火设备。一种支撑装置，用于在基座上支撑承载盘，包括可移动连接地第一支撑件和第二支撑件；第一支撑件与基座和承载盘二者中的一者固定连接，第二支撑件与基座和承载盘二者中的另一者固定连接，其中，第一支撑件与第二支撑件被配置为在承载盘的径向方向上可相对移动，以使得承载盘具有径向形变空间。这样的方案，不仅能有效地在基座上支撑承载盘，而且能够使得承载盘具有一定的径向形变空间。在承载盘受热膨胀时，承载盘能在径向形变空间范围内自由地膨胀，因此能减少因膨胀被约束而产生的热应力，进而降低损坏承载盘的风险，延长承载盘的使用寿命。
本发明授权支撑装置及基板退火设备在权利要求书中公布了：1.一种支撑装置，用于在基座上支撑承载盘，其特征在于， 包括可移动连接地第一支撑件和第二支撑件； 所述第一支撑件与所述基座和所述承载盘二者中的一者固定连接，所述第二支撑件与所述基座和所述承载盘二者中的另一者固定连接， 其中，所述第一支撑件与所述第二支撑件被配置为在所述承载盘的径向方向上可相对移动，以使得所述承载盘具有径向形变空间； 所述第二支撑件包括槽道，所述槽道沿所述承载盘的径向方向延伸； 所述第一支撑件包括槽道配合件，所述槽道配合件被配置为至少部分地位于所述槽道内； 其中，所述槽道和所述槽道配合件在所述承载盘的径向方向上可相对移动。
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