浙江驰拓科技有限公司陈明博获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江驰拓科技有限公司申请的专利一种TMR传感器件的生产方法及生产设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119959829B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311487425.5，技术领域涉及：H10N50/10；该发明授权一种TMR传感器件的生产方法及生产设备是由陈明博;陈伟斌设计研发完成，并于2023-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种TMR传感器件的生产方法及生产设备在说明书摘要公布了：本发明涉及磁性存储器领域，特别是涉及一种TMR传感器件的生产方法及生产设备，通过将金属层光罩置于正位，并通过正位的金属层光罩制作与底部衬垫连接的底部金属层；在所述底部金属层上设置MTJ元件层；在所述MTJ元件层上通过逆位的金属层光罩制作与顶部衬垫连接的顶部金属层，得到器件前驱体；在所述器件前驱体的所述顶部衬垫及所述底部衬垫上开设连接窗口，得到TMR传感器件。本发明将所述顶部金属层及所述底部金属层的图案进行设计，使所述顶部金属层及所述底部金属层的图案相同，但方向颠倒，仅利用一个金属层光罩，通过不同的旋转位置，分别对所述顶部金属层及所述底部金属层的设置，降低了生产成本，提升了生产效率。
本发明授权一种TMR传感器件的生产方法及生产设备在权利要求书中公布了：1.一种TMR传感器件的生产方法，其特征在于，包括： 将金属层光罩置于正位，并通过正位的金属层光罩制作与底部衬垫连接的底部金属层；所述金属层光罩包括多个金属遮光单元，所述金属遮光单元经过光刻刻蚀后，得到对应的金属层上的金属连接单元； 在所述底部金属层上设置MTJ元件层； 在所述MTJ元件层上通过逆位的金属层光罩制作与顶部衬垫连接的顶部金属层，得到器件前驱体；所述逆位为所述正位旋转180度得到的所述金属层光罩的位置；所述MTJ元件层中的MTJ单元在所述顶部金属层中对应的金属连接单元与在所述底部金属层中对应的金属连接单元错位设置； 在所述器件前驱体的所述顶部衬垫及所述底部衬垫上开设连接窗口，得到TMR传感器件。
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