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龙图腾网获悉东莞市凯格精机股份有限公司申请的专利一种防抖固晶方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119993897B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510184875.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种防抖固晶方法是由邱国良;宋先玖;王军建;张晓伟设计研发完成，并于2025-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种防抖固晶方法在说明书摘要公布了：本发明涉及固晶技术领域，具体公开一种防抖固晶方法，包括：将薄膜上的晶片向上顶起，使得所述晶片脱离所述薄膜；将被顶起的所述晶片固定至基板上；横移所述薄膜，以便对下一个晶片进行顶升作业；其中，在横移所述薄膜时，持续向下吸附所述薄膜，以限制所述薄膜发生抖动。本发明提供的防抖固晶方法，能有效解决现有固晶设备的固晶摆臂摆动时会引起薄膜抖动，不利于对薄膜上的晶片进行定位，最终导致固晶不良的问题。

本发明授权一种防抖固晶方法在权利要求书中公布了：1.一种防抖固晶方法，其特征在于，包括： 将薄膜上的晶片向上顶起，使得所述晶片脱离所述薄膜； 将被顶起的所述晶片固定至基板上； 横移所述薄膜，以便对下一个晶片进行顶升作业；其中，在横移所述薄膜时，持续向下吸附所述薄膜，以限制所述薄膜发生抖动； 所述将薄膜上的晶片向上顶起，使得所述晶片脱离所述薄膜，包括： 以第一吸力向下吸附固定所述薄膜； 向上刺穿所述薄膜后，将对应的所述晶片向上顶起，使得所述晶片脱离所述薄膜； 所述在横移所述薄膜时，持续向下吸附所述薄膜，以限制所述薄膜发生抖动，具体为： 在横移所述薄膜时，以第二吸力持续向下吸附所述薄膜，以限制所述薄膜发生抖动； 其中，所述第一吸力大于所述第二吸力； 所述防抖固晶方法由一种固晶设备执行，所述固晶设备包括： 顶针内帽，所述顶针内帽的顶面设有过针孔和若干顶晶吸附孔； 顶针外套筒，所述顶针外套筒套设于所述顶针内帽的外部，并配合所述顶针内帽包围形成开口朝上设置的防抖吸附腔； 顶针本体，所述顶针本体位于所述顶针内帽中，受驱后经所述过针孔向上伸出； 所述固晶设备还包括顶晶吸附真空泵和防抖吸附真空泵； 所述顶晶吸附真空泵的抽吸口通过顶晶吸附气管接头连通至所述顶针内帽的各个顶晶吸附孔；所述防抖吸附真空泵的抽吸口通过防抖吸附气管接头连通至所述防抖吸附腔。

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