深圳新声半导体有限公司王友良获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳新声半导体有限公司申请的专利一种改善膜层结合力的体声波滤波器及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120017005B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510502623.7，技术领域涉及：H03H9/54；该发明授权一种改善膜层结合力的体声波滤波器及其制作方法是由王友良;邹洁;冯端设计研发完成，并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改善膜层结合力的体声波滤波器及其制作方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种改善膜层结合力的体声波滤波器及其制作方法。涉及滤波技术领域。其中，体声波滤波器包括衬底和谐振结构，其中谐振结构设置于衬底上，并且谐振结构包括工作区域以及围绕工作区域的非工作区域，在非工作区域中谐振结构的压电层与相邻膜层之间具有缓冲结构。通过在所述非工作区域中引入缓冲结构，使压电层与相邻膜层间的应力分布更加均匀，减小了压电层与相邻膜层间的应力差异，能够有效避免压电层与相邻薄膜之间发生分离或晶圆翘曲，从而增强器件的牢固性以及提升器件的可靠性。进而解决了现有技术中体声波滤波器因压电层与相邻薄膜间的应力差问题，存在器件结构损坏和可靠性降低风险的技术问题。
本发明授权一种改善膜层结合力的体声波滤波器及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种改善膜层结合力的体声波滤波器，其特征在于，包括：衬底和谐振结构，其中所述谐振结构设置于所述衬底上，并且所述谐振结构包括工作区域以及围绕所述工作区域的非工作区域，在所述非工作区域中所述谐振结构的压电层与相邻的第一电极之间具有第一缓冲结构以及与相邻的围栏层之间具有第二缓冲结构。
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