中国工程物理研究院机械制造工艺研究所臧仲明获国家专利权
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龙图腾网获悉中国工程物理研究院机械制造工艺研究所申请的专利一种非球面干涉检测中光线倾斜入射引入误差的校正方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120084244B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510275399.2,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一种非球面干涉检测中光线倾斜入射引入误差的校正方法是由臧仲明;陈杨;李柱;海阔;骆维舟;张思琪;郑越青;李璐璐设计研发完成,并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种非球面干涉检测中光线倾斜入射引入误差的校正方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种非球面干涉检测中光线倾斜入射引入误差的校正方法,涉及光学精密测量技术领域,包括以下步骤:构建干涉测量系统,并获取待测非球面的面形误差分布;根据干涉测量系统的实际空间布局参数,构建对应的几何光学模型,并计算干涉测量结果理论空间坐标与非法向光束斜入射角度的映射关系;将干涉测量结果的像素坐标转换为理论空间坐标,并基于映射关系,通过插值算法计算待测非球面上实际面形数据各采样点的斜入射角度;最后通过斜入射与正入射时面形误差同斜入射角度间的关系,完成待测非球面干涉检测中光线倾斜入射引入误差的校正。该方法特别针对非球面元件在干涉测量过程中出现光线倾斜入射引入的误差问题,显著提升了检测精度。
本发明授权一种非球面干涉检测中光线倾斜入射引入误差的校正方法在权利要求书中公布了:1.一种非球面干涉检测中光线倾斜入射引入误差的校正方法,其特征在于,包括以下步骤: S1:构建干涉测量系统,并获取待测非球面3的面形误差分布; 所述干涉测量系统包括干涉仪模块、待测离轴抛物面模块和反射镜模块,所述待测离轴抛物面模块上带有待测非球面3;所述干涉仪模块用于向所述待测非球面入射非法向光束,所述反射镜模块用于接收所述待测非球面的反射光束,并使所述反射光束原路返回干涉仪模块; S2:根据所述干涉测量系统的实际空间布局参数,构建对应的几何光学模型,并计算干涉测量结果理论空间坐标与所述非法向光束斜入射角度的映射关系; S3:将干涉测量结果的像素坐标转换为理论空间坐标,并基于所述映射关系,通过插值算法计算待测非球面上实际面形数据各采样点的斜入射角度; S4:最后通过斜入射与正入射时面形误差同斜入射角度间的关系,完成待测非球面干涉检测中光线倾斜入射引入误差的校正。
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