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北京大学杨学林获国家专利权

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龙图腾网获悉北京大学申请的专利多物理环境中III族氮化物异质结构电子漂移速率的测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120085138B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510303774.X,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权多物理环境中III族氮化物异质结构电子漂移速率的测量方法是由杨学林;刘烜;王越;宋英铭;沈波设计研发完成,并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

多物理环境中III族氮化物异质结构电子漂移速率的测量方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种多物理环境中III族氮化物异质结构电子漂移速率的测量方法,属于半导体技术领域。该方法首先使III族氮化物异质结构形成H形沟道,并在沟道两侧对称地制备矩形测试电极,获得待测样品;然后将待测样品置于某种或多种物理环境中,并接入测试电路中,在测试电极上施加电压,测量通过H形沟道的电流,得到电子漂移速率v,并获得电子漂移速率v在温度场、光场、磁场、不同气体氛围等外部物理环境中随电场E的变化关系。在不同物理场下实现III氮化物异质结构中2DEG电子漂移速率的测量,对于全面评估和优化III氮化物器件的性能具有重要意义,为器件的设计和优化提供指导。

本发明授权多物理环境中III族氮化物异质结构电子漂移速率的测量方法在权利要求书中公布了:1.一种多物理环境中III族氮化物异质结构电子漂移速率的测量方法,包括以下步骤: 1使III族氮化物异质结构形成H形沟道,并在沟道两侧对称地制备矩形测试电极,获得待测样品,则通过H形沟道的电流I根据式1得到: I=nqWv1 其中,v为电子漂移速率,W为沟道宽度,n为异质结构2DEG的面密度,q为基本电荷量; 沟道中的电场强度E根据式2估算: 其中,W和L分别为沟道区域的宽度和长度,T为测试电极在垂直于沟道方向上的长度, L′为注入区沿电流方向的长度,V为两个测试电极之间的电压差; 2将步骤1制备的待测样品置于某种或多种物理环境中,并接入测试电路中,在测试电极上施加电压,测量通过H形沟道的电流,根据式1得到电子漂移速率v,结合式2获得电子漂移速率v随电场E的变化关系。

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