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深圳市标谱半导体股份有限公司段雄斌获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市标谱半导体股份有限公司申请的专利一种探针台及探针台的上下料方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120097099B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510426369.7,技术领域涉及:B65G49/07;该发明授权一种探针台及探针台的上下料方法是由段雄斌;何选民设计研发完成,并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。

一种探针台及探针台的上下料方法在说明书摘要公布了:本发明属于半导体检测设备技术领域,具体为一种探针台及探针台的上下料方法。包括机架、XY复合运动模组、升降供料模组、机械手模组、预对准模组与承载工作台。升降供料模组设置于机架上,用于将待测物料输送至上料工位;机械手模组包括可沿机架Y轴方向滑移的机械手臂,机械手臂用于从上料工位抓取待测物料并移送至预对准工位,以及将完成检测后的物料转运回升降供料模组;预对准模组安装在Y轴移动组件上,通过Y轴移动组件驱动预对准模组滑移至预对准工位,与机械手模组配合,实现待测物料的预对准;驱动承载工作台沿X轴、Y轴滑移至上片工位或下片工位,并与携带待测物料的机械手模组配合,实现对待测物料的上片以及完成检测后物料的下片。

本发明授权一种探针台及探针台的上下料方法在权利要求书中公布了:1.一种探针台,其特征在于:其包括: 机架; XY复合运动模组,所述XY复合运动模组由Y轴移动组件和X轴移动组件构成,所述Y轴移动组件可移动的设置于所述机架上,所述X轴移动组件可移动的设置于所述Y轴移动组件上; 升降供料模组,所述升降供料模组设置于所述机架上,用于将待测物料输送至上料工位; 机械手模组,所述机械手模组安装在所述机架上;所述机械手模组包括可沿所述机架Y轴方向滑移的机械手臂,所述机械手臂用于从所述上料工位抓取待测物料并移送至预对准工位,以及将完成检测后的物料转运回所述升降供料模组; 预对准模组,所述预对准模组安装在所述Y轴移动组件上,通过所述Y轴移动组件驱动所述预对准模组滑移至预对准工位,与所述机械手模组配合,实现待测物料的预对准; 承载工作台,所述承载工作台安装在所述X轴移动组件上,以驱动所述承载工作台沿X轴、Y轴滑移至上片工位或下片工位,并与携带待测物料的所述机械手模组配合,实现对待测物料的上片以及完成检测后物料的下片; 其中,所述预对准模组包括预对准升降机构、以及预对准旋转机构;所述预对准旋转机构安装在所述预对准升降机构上,通过所述预对准升降机构驱动所述预对准旋转机构的升降; 所述预对准旋转机构包括安装在所述预对准升降机构的预对准滑台上的旋转电机、安装在所述旋转电机输出轴上的预对准台、以及安装在所述预对准台上方的相机,所述相机用于获取待测物料的信息,并由所述旋转电机驱动所述预对准台旋转,将待测物料的物理标记位置旋转至预设位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市标谱半导体股份有限公司,其通讯地址为:518100 广东省深圳市宝安区航城街道三围社区内环路同富裕工业园茶树A栋1层-3层、5-8层; 茶树B栋1层101; 茶西三围第二工业区B栋1层101-103设有经营场所从事生产经营活动;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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