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龙图腾网获悉佛山大学申请的专利一种芯片转移载板与基板间隙激光测量系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120109036B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510249228.2，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种芯片转移载板与基板间隙激光测量系统和方法是由乔健;冉雨宣;金哲;杨景卫;翁占坤;朱俊禧;李俊杰设计研发完成，并于2025-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种芯片转移载板与基板间隙激光测量系统和方法在说明书摘要公布了：本发明涉及芯片精密测量的技术领域，一种芯片转移载板与基板间隙激光测量系统和方法，包括激光发射器、透反射分离模块、位移载物台和成像屏。本发明的芯片转移载板与基板间隙激光测量系统，由于位移载物台间隔放置有转移载板和承接基板，第一光束和第二光束分别经转移载板反射和折射再反射以及承接基板反射和折射再反射，从而第一光束和第二光束分别在成像屏上形成多个光斑，进而当转移载板相对承接基板偏转或移动时，第一光束和第二光束分别经转移载板反射和折射再反射以及承接基板反射和折射再反射后，在成像屏上形成多个光斑的位置发生改变，成像屏测量各光斑变化后的距离值，提高芯片转移载板与承接基板之间间隙的精度测量。

本发明授权一种芯片转移载板与基板间隙激光测量系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种芯片转移载板与基板间隙激光测量方法，其特征在于，包括步骤： S1、将转移载板与承接基板以晶圆堆叠单元的结构设置在位移载物台上； S2、开启激光发射器，将透反射分离模块中的第一透镜、第二透镜和反射镜以合适的角度进行偏转，使第一光束和第二光束分别在所述第一透镜和所述第二透镜表面反射后射向所述转移载板和所述承接基板上，其中，所述激光发射器发射的光束部分经所述第一透镜反射产生所述第一光束，另一部分通过所述第一透镜后产生所述第二光束，所述第二光束射至所述反射镜，经所述反射镜反射至所述第二透镜反射所述第二光束，以使所述第一光束和所述第二光束平行； S3、所述第一光束和所述第二光束以平行光的形式透射在所述转移载板与所述承接基板组成的晶圆堆叠单元上，在晶圆堆叠单元里发生反射与折射后，所述第一光束和所述第二光束分别形成了四个反射光束，且在成像屏上投射形成光斑； S4、基于相机拍摄S3中的所述成像屏中的光斑，得到包含8个所述光斑的图像； S5、基于数据处理模块对S4中的光斑进行图像处理，提取光斑图像中8个光斑聚焦的中心点及中心坐标，通过物点与像点的标定，获得所述转移载板和所述承接基板表面的光点与S3中所述成像屏中的光斑中心点的非线性关系； S6、根据激光反射测量，所述承接基板下表面为基准面，根据S3中所述成像屏光斑的中心坐标，推导计算光点投射在所述转移载板上下表面和所述承接基板上表面的位置坐标； S7、所述位移载物台进行水平方向的匀速位移，所述相机以固定的频率连续的对光点和光斑图像进行拍照处理，所述数据处理模块对光斑中心位置变化做数据分析处理，计算所述转移载板和承接基板的厚度以及两者间隙的变化，推导所述转移载板和所述承接基板间调平所需的偏转角度。

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