光科芯图(北京)科技有限公司苏国兵获国家专利权
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龙图腾网获悉光科芯图(北京)科技有限公司申请的专利固气混合激光装置、固气混合激光输出方法及曝光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120222132B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311824675.3，技术领域涉及：H01S3/23；该发明授权固气混合激光装置、固气混合激光输出方法及曝光设备是由苏国兵;程智;李硕;彭耀梅;傅俊隆设计研发完成，并于2023-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本固气混合激光装置、固气混合激光输出方法及曝光设备在说明书摘要公布了：本发明涉及激光技术领域，具体涉及一种固气混合激光装置、固气混合激光输出方法及曝光设备，固气混合激光装置包括：激光输出模块输出种子激光；聚焦组件接收种子激光，并进行聚焦；激光放大模块接收聚焦组件聚焦的激光，并对聚焦的激光进行能量放大。本申请采用上述技术方案，由于种子激光能量密度偏低，一般的激光放大模块在种子激光的能量密度需要大于一定能量密度阈值以上时，才能发挥激光放大模块的放大功能；本申请利用聚焦组件的聚焦作用，增大预进入激光放大模块内种子激光的能量密度，更易达到激光放大模块的能量密度阈值，以适应激光放大模块对激光放大条件的要求，可靠地实现激光放大模块的放大作用。
本发明授权固气混合激光装置、固气混合激光输出方法及曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种固气混合激光装置，其特征在于，包括： 激光输出模块，适于输出种子激光； 聚焦组件，适于接收种子激光，并进行聚焦； 激光放大模块，适于接收聚焦组件聚焦的激光，并对聚焦的激光进行能量放大； 所述激光输出模块包括： 固体激光器1，适于发出初始种子激光； 双面分束镜2，透射面适于接收固体激光器1发出的初始种子激光并透射； 线宽压窄子模块，适于接收经双面分束镜2透射的初始种子激光，并对透射的初始种子激光进行线宽压窄处理，再将线宽压窄后的种子激光回射至双面分束镜2的反射面；所述双面分束镜2的反射面反射线宽压窄后的种子激光至聚焦组件； 其中，在所述双面分束镜2的透射面镀有增透膜，在所述双面分束镜2的反射面镀有反射膜。
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