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龙图腾网获悉江苏三米科思半导体设备有限公司申请的专利光学装置及激光光束形状调整方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120255165B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510555753.7，技术领域涉及：G02B27/09；该发明授权光学装置及激光光束形状调整方法是由仇浩;韦巍;朱俊设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本光学装置及激光光束形状调整方法在说明书摘要公布了：本发明属于光学仪器技术领域，具体涉及一种光学装置及激光光束形状调整方法，本光学装置包括：柱面镜组一、柱面镜组二、准直镜和移动组件；当柱面镜组一中第一柱面镜相对第二柱面镜或第二柱面镜相对第一柱面镜移动时，以调整激光光束在竖直面上聚光后的发散角；当柱面镜组二中第三柱面镜相对第四柱面镜或第四柱面镜相对第三柱面镜移动时，以调整激光光束在水平面上聚光后的发散角；本发明能够单独改变激光光束在竖直方向、水平方向的发散角，实现能够改变激光光束在竖直方向、水平方向的直径，同时也能够实现出射平行光，满足在检测晶圆缺陷时不同需求，实现激光光束以最优均匀性检测更小的缺陷信号。

本发明授权光学装置及激光光束形状调整方法在权利要求书中公布了：1.一种光学装置，其特征在于，包括： 柱面镜组一1、柱面镜组二2、准直镜3和移动组件4；其中 所述柱面镜组一1、柱面镜组二2分别位于激光器与准直镜3之间，且所述柱面镜组一1、柱面镜组二2、准直镜3分别活动安装在移动组件4上； 当激光器发出激光光束5时，激光光束5经所述柱面镜组一1在竖直面上聚光，且激光光束5经所述柱面镜组二2在水平面上聚光，直至激光光束5射至所述准直镜3，以使所述准直镜3对激光光束5准直校正； 当所述柱面镜组一1中第一柱面镜11相对第二柱面镜12或第二柱面镜12相对第一柱面镜11在移动组件4上移动时，以调整激光光束5在竖直面上聚光后的发散角，所述柱面镜组一1相对准直镜3在移动组件4上移动至聚光点与准直镜3的焦距位置重合，且调整发散角的角度大小以改变从所述准直镜3射出激光光束5在竖直面上的直径； 当所述柱面镜组二2中第三柱面镜21相对第四柱面镜22或第四柱面镜22相对第三柱面镜21在移动组件4上移动时，以调整激光光束5在水平面上聚光后的发散角，所述柱面镜组二2相对准直镜3在移动组件4上移动至聚光点与准直镜3的焦距位置重合，且调整发散角的角度大小以改变从所述准直镜3射出激光光束5在水平面上的直径。

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