山东力冠微电子装备有限公司宋德鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉山东力冠微电子装备有限公司申请的专利一种镓舟、源加注系统及源加注方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120273024B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510583129.8,技术领域涉及:C30B25/02;该发明授权一种镓舟、源加注系统及源加注方法是由宋德鹏;张鸿志;姜良斌;陈占领设计研发完成,并于2025-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种镓舟、源加注系统及源加注方法在说明书摘要公布了:一种镓舟、源加注系统及源加注方法,属于半导体生产领域。技术方案为:一种镓舟,包括舟体,舟体的上部固定设有加注口,加注口上可拆卸安装有密封盖;加注口内设有锥形孔道,密封盖包括盖体,盖体用于对加注口包覆遮盖,盖体上固定设有锥形的塞部,塞部插装在锥形孔道内,塞部的外壁和锥形孔道的侧壁均为磨砂结构,通过盖体、塞部与加注口的配合,实现多级封堵,延长加注口与外界连通的路径,提高密封效果,塞部的外壁与加注口的内壁之间通过磨砂结构配合,密封效果好,且解决了加工难度高的问题。
本发明授权一种镓舟、源加注系统及源加注方法在权利要求书中公布了:1.一种源加注系统,其特征在于,包括:水浴单元13、镓瓶14以及镓舟,镓舟包括舟体1,舟体1的上部固定设有加注口2,加注口2上可拆卸安装有密封盖3;加注口2内设有锥形孔道5,密封盖3包括盖体7,盖体7用于对加注口2包覆遮盖,盖体7上固定设有锥形的塞部8,塞部8插装在锥形孔道5内,塞部8的外壁和锥形孔道5的侧壁均为磨砂结构,塞部8和锥形孔道5均为上部直径大于下部直径的锥形结构;水浴单元13位于舟体1的上方,镓瓶14装有固态镓源,镓瓶14可拆卸安装在水浴单元13内,镓瓶14利用连接管22与舟体1上的加注口2连接,水浴单元13内安装有转运瓶15,转运瓶15的顶部与镓瓶14的瓶口20可拆卸连接,转运瓶15的底部与连接管22可拆卸连接,转运瓶15通过连接管22与加注口2连接,转运瓶15的整体高度低于水浴单元13的深度,转运瓶15上固定设有联通管21。
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