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安徽超元半导体有限公司乔如玉获国家专利权

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龙图腾网获悉安徽超元半导体有限公司申请的专利一种晶圆CP测试用晶圆抓取夹持装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120300060B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510451740.5,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权一种晶圆CP测试用晶圆抓取夹持装置是由乔如玉;李友志;姜禄;唐志敏设计研发完成,并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆CP测试用晶圆抓取夹持装置在说明书摘要公布了:本发明涉及搬运夹具相关技术领域,公开了一种晶圆CP测试用晶圆抓取夹持装置,为了解决夹持爪在移动过程中推动晶圆在台阶面上产生不必要运动摩擦的问题,通过夹持爪端部设置有检测杆,当两个夹持滑动臂带动夹持爪相对靠近时,晶圆的外侧会率先接触检测杆,并通过晶圆推动检测杆运动,检测杆的运动会导致锁定挡杆抵至锁止齿排中,利用锁止齿排对锁定挡杆的运动限制,避免夹持晶圆后的夹持爪持续受力,也就避免晶圆被运动的夹持爪推动,减小晶圆和台阶面之间的摩擦,最终实现晶圆搬运过程中最大限度地减小机械爪对晶圆影响的效果。

本发明授权一种晶圆CP测试用晶圆抓取夹持装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆CP测试用晶圆抓取夹持装置,其特征在于,包括: 安装基座1,表面上安装有两个夹持滑动臂2,两个夹持滑动臂2之间连接有闭爪弹簧11; 夹持爪13,固定在夹持滑动臂2的端部; 检测滑块14,活动安装在夹持滑动臂2的端部,且检测滑块14端部固定安装有检测杆140,检测滑块14和夹持滑动臂2之间布置有检测推簧141,检测滑块14侧部固定安装有磁屏蔽悬臂15; 限动推管16,活动安装在夹持滑动臂2上,且限动推管16端部固定安装有活动磁块17,夹持滑动臂2上固定安装有与活动磁块17磁性相吸的固定磁块18,限动推管16和夹持滑动臂2之间连接有限动弹簧160; 锁定挡杆19,固定在限动推管16的外侧; 锁止齿排12,活动安装在安装基座1上; 安装基座1上活动安装有利用电机4驱动的丝杆3,安装基座1上活动安装有与丝杆3螺纹连接的导向架5; 锁止齿排12底部固定安装有调整悬臂22,调整悬臂22和安装基座1之间铰接; 调整悬臂22侧部设置有角形限位部220,安装基座1上固定安装有弹簧顶杆23,调整悬臂22中部固定安装有复压斜块221,端部固定安装有复位斜块222; 导向架5侧部固定安装有复压臂8; 安装基座1上固定安装有限位开关24。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽超元半导体有限公司,其通讯地址为:247100 安徽省池州市经济技术开发区电子信息产业园17号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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