欣强电子(清远)股份有限公司徐志强获国家专利权
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龙图腾网获悉欣强电子(清远)股份有限公司申请的专利一种SLP类载板aMSAP工艺用化学镀铜纳米改性剂及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120366754B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510773669.2,技术领域涉及:C23C18/38;该发明授权一种SLP类载板aMSAP工艺用化学镀铜纳米改性剂及其制备方法是由徐志强设计研发完成,并于2025-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种SLP类载板aMSAP工艺用化学镀铜纳米改性剂及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种SLP类载板aMSAP工艺用化学镀铜纳米改性剂及其制备方法,属于新材料技术领域。针对现有化学镀铜技术中铜层均匀性差、附着力弱、抗氧化性能不足及耐久性不佳的问题,本发明通过设计包含模板剂、硅烷前驱体、表面修饰剂及WO3@ITO核壳结构的纳米改性剂,采用模板剂辅助溶胶‑凝胶法、热包覆及界面自组装工艺制备而成。该改性剂显著提升铜层性能,厚度标准偏差≤0.14μm,附着率≥98.0%,氧化铜含量≤2.3mol%,耐久性测试后性能衰减极小。制备工艺简单,添加量低,与aMSAP工艺高度兼容,成本低且环境友好,满足SLP类载板高密度互连和高可靠性制造需求,具有显著的工业应用价值。
本发明授权一种SLP类载板aMSAP工艺用化学镀铜纳米改性剂及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种SLP类载板aMSAP工艺用化学镀铜纳米改性剂的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:1介孔硅载体功能化处理:将模板剂、硅烷前驱体与表面修饰剂按1:0.5-2:0.1-0.5的质量比混合,碱性条件下进行水解缩合反应,反应后得到介孔二氧化硅纳米颗粒;2金属氧化物核壳结构构建:将钨酸盐前驱体、硫酸铵及水按3-5:1:15-20的质量比配制成水溶液,调节pH至1.5-2.5进行水热反应,生成WO3纳米棒,随后与铟锡前驱体按10-20:1的质量比进行热包覆,形成WO3@ITO核壳结构;3复合改性剂组装:将步骤1得到的介孔二氧化硅纳米颗粒与步骤2得到的WO3@ITO核壳结构按照1-3:1的质量比混合,加入含氮有机物分散剂与硼酸系缓冲液,在超声场作用下进行界面自组装,获得化学镀铜纳米改性剂。
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