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龙图腾网获悉东莞市台易电子科技有限公司申请的专利晶圆探针台检测路径规划方法、装置、设备和探针台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120370140B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510702256.5，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权晶圆探针台检测路径规划方法、装置、设备和探针台是由涂炳超;肖荣辉;梁家明;廖永仲;闵玉迪;王卫锋设计研发完成，并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆探针台检测路径规划方法、装置、设备和探针台在说明书摘要公布了：本发明涉及探针检测技术领域，公开了一种晶圆探针台检测路径规划方法、装置、设备和探针台。该方法：对晶圆表面图像进行边界增强处理，得到边界增强输入张量；基于边界增强输入张量执行双路径特征提取，得到包含芯片边界和测试点位置的第一特征图；对第一特征图进行通道注意力和空间注意力筛选，得到第二特征图；对第二特征图进行芯片分布特征分析，得到测试点聚类结果；执行探针移动路径规划，得到全局最优路径；基于全局最优路径建立探针台逆运动学模型，并根据探针台逆运动学模型计算探针轨迹控制序列。本发明增强了晶圆表面芯片边界特征提取能力，确保了探针在高速测试过程中的稳定性和平滑性，大幅提升了探针定位精度。

本发明授权晶圆探针台检测路径规划方法、装置、设备和探针台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆探针台检测路径规划方法，其特征在于，包括： 对晶圆表面图像进行边界增强处理，得到边界增强输入张量； 基于所述边界增强输入张量执行双路径特征提取，得到包含芯片边界和测试点位置的第一特征图； 对所述第一特征图进行通道注意力和空间注意力筛选，得到第二特征图； 对所述第二特征图进行芯片分布特征分析，得到测试点聚类结果；具体包括：对所述第二特征图进行语义分割，得到二值化测试点分布图；对所述二值化测试点分布图执行联通区域分析，得到芯片区域及测试点的基本特征，所述基本特征包括中心坐标、面积和测试点数量；基于所述基本特征构建芯片分布协方差矩阵，并对所述芯片分布协方差矩阵应用谱聚类算法，得到K个芯片聚类；对每个芯片聚类计算测试点密度并排序，得到测试优先级区域划分信息，其中，测试点密度定义为单位面积内测试点的数量；基于测试优先级区域划分信息，对高密度区域的测试点进行细粒度聚类，得到测试点聚类结果； 基于所述测试点聚类结果后执行探针移动路径规划，得到全局最优路径； 基于所述全局最优路径建立探针台逆运动学模型，并根据所述探针台逆运动学模型计算探针轨迹控制序列。

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