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龙图腾网获悉长鑫新桥存储技术有限公司申请的专利一种晶圆传输装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120413497B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510912348.6，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆传输装置是由谷康康设计研发完成，并于2025-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆传输装置在说明书摘要公布了：本公开实施例提供一种晶圆传输装置，用于晶圆在机台之间传输，包括：一驱动支架；一承载部，该承载部与所述驱动支架固定连接，用于承载晶圆，该承载部在水平延伸方向依次包括与驱动支架连接的基座部、中间部以及承载晶圆的延伸部；所述延伸部通过螺栓固定在所述中间部上，所述延伸部为陶瓷材质，所述延伸部与所述中间部之间设置有一垫片，所述螺栓穿过所述垫片，所述垫片用于感测一压力并将感测到的压力信号传递到控制系统。能够全面覆盖螺栓周围区域，实现对螺栓受力情况的精准监测，以及对连接部位状态的实时监控，能够更及时、准确地发现潜在问题，有效避免因连接松动导致的晶圆传输事故，大大提高了设备运行的安全性和稳定性。

本发明授权一种晶圆传输装置在权利要求书中公布了：1.一种能实时检测陶瓷延伸部裂纹的晶圆传输装置，用于在机台之间传输晶圆，包括： 一驱动支架； 一承载部，该承载部与所述驱动支架固定连接，用于承载晶圆，该承载部在水平延伸方向依次包括与驱动支架连接的基座部、中间部以及承载晶圆的延伸部； 所述延伸部包括U型区域或Y型区域，所述延伸部通过螺栓固定在所述中间部上，所述延伸部为陶瓷材质，所述延伸部与所述中间部之间设置有一垫片，所述垫片为压力感应垫片，包括垫片主体和位于垫片主体中心的螺栓锁孔，所述垫片主体内围绕所述螺栓锁孔均匀设置有多个MEMS压力传感器，用于检测螺栓不同区域所受的压力，所述螺栓穿过所述垫片中的螺栓锁孔，所述垫片用于感测一压力并将感测到的压力信号传递到控制系统，所述控制系统用于记录所述螺栓周围的受力情况，并根据受力情况识别反馈所述螺栓周围的延伸部的裂纹情况，具体为：所述控制系统对每个MEMS压力传感器的信号进行实时监测和存储，形成压力数据记录，通过对上述压力数据记录分析，绘制螺栓周围的压力分布曲线，根据预先存储的标准压力分布曲线判断压力是否出现异常，进而判断陶瓷中的裂纹情况。

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