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龙图腾网获悉北京华林嘉业科技有限公司申请的专利一种晶圆倒角加工的补偿校准方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120606300B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511121335.3，技术领域涉及：B24B1/00；该发明授权一种晶圆倒角加工的补偿校准方法及装置是由郭生钢;刘建民;王强;耿彪设计研发完成，并于2025-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆倒角加工的补偿校准方法及装置在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆加工设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆倒角加工的补偿校准方法及装置。本发明提供的晶圆倒角加工的补偿校准方法，包括：获取目标图像；其中，目标图像包括：晶圆台以及设置于晶圆台上的晶圆；基于目标图像确定晶圆台中心与晶圆中心的偏心量；基于目标加工点对应的基准夹角和偏心量以及第一距离确定目标加工点到晶圆台中心的第二距离；获取磨削槽的实际磨削点与预设磨削点的误差量；基于第一距离、第二距离和误差量确定目标加工点磨削时的补偿量。通过补偿校准，大大提升加工精度，不仅省去频繁的人工校准操作，还可以缩小晶圆来料误差范围，减少总磨削量，总体提升加工效率，减少报废率。

本发明授权一种晶圆倒角加工的补偿校准方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆倒角加工的补偿校准方法，其特征在于，应用于晶圆倒角加工装置，所述补偿校准方法包括： 获取目标图像；其中，所述目标图像包括：晶圆台6以及设置于所述晶圆台6上的晶圆； 基于所述目标图像确定所述晶圆台6中心与晶圆中心的偏心量； 基于目标加工点对应的基准夹角和所述偏心量以及第一距离确定所述目标加工点到所述晶圆台6中心的第二距离；其中，所述基准夹角表征所述目标加工点到所述晶圆台6中心的连线与基准线的夹角；所述基准线为所述晶圆台6中心与砂轮磨削槽磨削点的连线；所述第一距离为所述目标加工点到所述晶圆中心的距离； 获取磨削槽的实际磨削点与预设磨削点的误差量； 基于所述第一距离、所述第二距离和所述误差量确定所述目标加工点磨削时的补偿量； 所述基于目标加工点对应的基准夹角和所述偏心量以及第一距离确定所述目标加工点到所述晶圆台6中心的第二距离的步骤，包括：通过下述公式确定所述第二距离： 其中，r为所述第一距离；a2为所述偏心量；b为所述第二距离；θ为所述目标加工点对应的基准夹角； 所述基于所述第一距离、所述第二距离和所述误差量确定所述目标加工点磨削时的补偿量的步骤，包括： 基于第五距离与所述第二距离的大小关系确定所述晶圆的进给方向；其中，如果所述第五距离大于所述第二距离，将所述晶圆的进给方向确定为靠近所述磨削槽；如果所述第五距离小于所述第二距离，将所述晶圆的进给方向确定为远离所述磨削槽；所述第五距离为所述第一距离与所述误差量之和； 所述补偿量通过下述公式约束： a=│a1+r-b│； 其中，a为所述补偿量；a1为所述误差量。

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