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龙图腾网获悉华挺纳米科技(上海)有限公司申请的专利一种硅片用复合型抛光液及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120737738B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511239946.8，技术领域涉及：C09G1/02；该发明授权一种硅片用复合型抛光液及其制备方法是由刘小平设计研发完成，并于2025-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片用复合型抛光液及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种硅片用复合型抛光液及其制备方法，属于硅片加工技术领域。所述抛光液包括复合磨料10~30份，磷脂1~8份，氧化剂0.1~1份，过氧化氢0.01~0.05份，脂肪醇聚氧乙烯醚0.1~1份，pH值调节剂0.01~3份，水80~100份；其中，所述复合磨料包括内核层，中间包覆层以及表面修饰层，所述内核层为硅基颗粒，所述中间包覆层为铝包覆层，所述表面修饰层为纳米金属氧化物颗粒；以复合磨料为基体，所述内核层，中间包覆层以及表面修饰层的体积比为60~75%：15~25%：5~15%。

本发明授权一种硅片用复合型抛光液及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种硅片用复合型抛光液，其特征在于，按质量份数计，所述抛光液包括复合磨料10~30份，磷脂1~8份，氧化剂0.1~1份，过氧化氢0.01~0.05份，脂肪醇聚氧乙烯醚0.1~1份，pH值调节剂0.01~3份，水80~100份； 其中，所述复合磨料包括内核层，中间包覆层以及表面修饰层，所述内核层为硅基颗粒，所述中间包覆层为铝包覆层，所述表面修饰层为纳米金属氧化物颗粒； 以复合磨料为基体，所述内核层，中间包覆层以及表面修饰层的体积比为60~75%：15~25%：5~15%； 所述复合磨料的制备包括如下步骤： S1：内核层硅基颗粒制备 将二氧化硅粉末放入球磨机中，加入无水乙醇，二氧化硅和无水乙醇的质量比为1：1，以400rmin的转速研磨8~10h，得到浆料A； 将浆料A转移至喷雾干燥机中，得干燥的粉末B； 将粉末B转移至马弗炉中，在氮气气氛下进行焙烧，焙烧温度为800~900℃，焙烧时长为2~3h，焙烧后再次放入球磨机中，以800rmin的转速研磨1~2h，得到内核层硅基颗粒； S2：中间包覆层铝包覆层制备 分别配制0.5~1.5molL的硝酸铝溶液和1~2molL的氨水溶液； 将S1制得的硅基颗粒入到去离子水中形成悬浮液，硅基颗粒和去离子水的质量比为2：1，在200~300rmin转速的搅拌下，向悬浮液中同时缓慢滴加硝酸铝溶液和氨水溶液，滴加速率为5~10mLmin，滴加完成后继续搅拌1~2h，过滤洗涤，室温下静置干燥，得到铝包覆硅基颗粒； S3：表面修饰层纳米级金属氧化物颗粒附着 将纳米级金属氧化物颗粒分散在浓度为10~15%的氧化石墨烯分散液中，以500rmin的转速搅拌5~8h，再与S2制得的铝包覆硅基颗粒按体积比85~95%：5~15%混合，以500~800rmin的转速搅拌0.5~1h，静置，室温下干燥后即得到所述复合磨料。

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