合肥晶合集成电路股份有限公司陈铜获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种CIS晶圆的重工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120769581B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511256394.1，技术领域涉及：H10F39/18；该发明授权一种CIS晶圆的重工方法是由陈铜;冯文辉;吴言孝;邹儒泉;王锦涛设计研发完成，并于2025-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CIS晶圆的重工方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种CIS晶圆的重工方法，先采用氟醇类化合物溶液对待重工CIS晶圆表面已曝光光阻层进行预处理，可以在后续灰化过程中有效阻止光阻层表面形成致密碳化层，有利于提高刻蚀效率和刻蚀效果，然后依次对经预处理后的已曝光光阻层进行灰化、浸泡、剥离和清洗，可快速、完整的去除CIS晶圆表面已曝光光阻层，以及在有效保护CIS晶圆的同时可有效去除处理过程中产生的污染物，具有工艺简单、操作方便、成本低廉、去除效率高、去除效果好、对CIS晶圆损伤小等优点，有利于提高CIS晶圆的重制效率和重制效果，在减少产品缺陷、提升良率、降低成本的同时也能提高产品的市场竞争力，使用价值高，应用前景好。
本发明授权一种CIS晶圆的重工方法在权利要求书中公布了：1.一种CIS晶圆的重工方法，其特征在于，在对待重工CIS晶圆表面的已曝光光阻层进行灰化处理之前，采用氟醇类化合物溶液对待重工CIS晶圆表面已曝光光阻层进行预处理。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥晶合集成电路股份有限公司，其通讯地址为：230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励