中国科学院长春光学精密机械与物理研究所黎大兵获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种改进型13.5nm极紫外光源能量监测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120778215B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511288115.X，技术领域涉及：G01J1/42；该发明授权一种改进型13.5nm极紫外光源能量监测装置是由黎大兵;邢妍;蒋科;孙晓娟;来搏;王炳翔设计研发完成，并于2025-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改进型13.5nm极紫外光源能量监测装置在说明书摘要公布了：本发明涉及光学系统设计技术领域，尤其涉及一种改进型13.5nm极紫外光源能量监测装置。沿光路方向依次包括孔径光阑、薄膜滤光片、平面多层膜反射镜、球面多层膜反射镜和探测器；EUV光源发出的宽谱段辐射首先通过孔径光阑后，入射到薄膜滤光片，透过薄膜滤光片的EUV光束，以5°至10°的入射角照射到平面多层膜反射镜上，对入射光束进行窄带滤波；平面多层膜反射镜的反射光束，以5°至10°的入射角入射到球面多层膜反射镜，对光束进行聚焦缩束和光斑整形；经过滤波和缩束的EUV辐射被位于光路末端的探测器接收。优点在于：实现13.5nm±1%的带通滤光和光斑尺寸缩小，布局紧凑，显著提升能量测量精度。
本发明授权一种改进型13.5nm极紫外光源能量监测装置在权利要求书中公布了：1.一种改进型13.5nm极紫外光源能量监测装置，其特征在于：沿光路方向依次包括孔径光阑、薄膜滤光片、平面多层膜反射镜、球面多层膜反射镜和探测器； EUV光刻机光源发出1nm~10.6µm的宽谱段辐射通过孔径光阑后，入射到薄膜滤光片，透过薄膜滤光片的EUV光束，以5°至10°的入射角照射到平面多层膜反射镜上，对入射光束进行窄带滤波；平面多层膜反射镜的反射光束，以5°至10°的入射角入射到球面多层膜反射镜，对光束进行聚焦缩束和光斑整形，同时再进行一次窄带滤波；经过滤波和缩束的EUV辐射被位于光路末端的探测器接收。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，其通讯地址为：130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励