中国科学院长春光学精密机械与物理研究所蒋科获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利基于球面反射镜的13.5nm极紫外光源能量监测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120778216B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511288118.3，技术领域涉及：G01J1/42；该发明授权基于球面反射镜的13.5nm极紫外光源能量监测装置是由蒋科;邢妍;黎大兵;孙晓娟;来搏;王炳翔;方通设计研发完成，并于2025-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于球面反射镜的13.5nm极紫外光源能量监测装置在说明书摘要公布了：本发明涉及光学系统设计技术领域，尤其涉及一种基于球面反射镜的13.5nm极紫外光源能量监测装置。沿光路方向依次包括孔径光阑、薄膜滤光片、第一球面反射镜、第二球面反射镜、探测器；EUV光源发出的宽谱段辐射首先通过孔径光阑后，入射到薄膜滤光片，透过薄膜滤光片的EUV光束，以5~10°的入射角照射到第一球面反射镜上，对入射光束进行窄带滤波和聚焦缩束，初步减小光束发散角和光斑尺寸；第一球面反射镜的反射光束，以5~10°的入射角入射到第二球面反射镜，对光束进行第二次聚焦缩束和光斑整形；经过滤波和缩束的EUV辐射被位于光路末端的探测器接收。优点在于：显著提升能量测量精度；结构更加紧凑。
本发明授权基于球面反射镜的13.5nm极紫外光源能量监测装置在权利要求书中公布了：1.一种基于球面反射镜的13.5nm极紫外光源能量监测装置，其特征在于：沿光路方向依次包括孔径光阑、薄膜滤光片、第一球面反射镜、第二球面反射镜、探测器； EUV光源发出的宽谱段辐射首先通过孔径光阑后，入射到薄膜滤光片，透过薄膜滤光片的EUV光束，以5°至10°的入射角照射到第一球面反射镜上，对入射光束进行窄带滤波和聚焦缩束，初步减小光束发散角和光斑尺寸；第一球面反射镜的反射光束，以5°至10°的入射角入射到第二球面反射镜，对光束进行第二次聚焦缩束和光斑整形；经过滤波和缩束的EUV辐射被位于光路末端的探测器接收。
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