上海米蜂激光科技有限公司原清海获国家专利权
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龙图腾网获悉上海米蜂激光科技有限公司申请的专利一种基于可移动机器人的真空镀膜室激光清洗方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120790610B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511294717.6,技术领域涉及:B08B9/08;该发明授权一种基于可移动机器人的真空镀膜室激光清洗方法及装置是由原清海;侯树军;孙顺文设计研发完成,并于2025-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于可移动机器人的真空镀膜室激光清洗方法及装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种基于可移动机器人的真空镀膜室激光清洗方法及装置。其中,方法包括以下步骤:在机器人的操作臂末端部署结构光相机、激光器和除尘装置;以真空镀膜室内干埚作为标定物,建立真空室坐标系同机器人基坐标系间的第一映射关系;将真空室内壁拟合为多个不同半径的圆柱面模型,规划结构光相机的采集线路;控制结构光相机沿采集线路进行拍摄,识别出真空室内壁的待清洗表面并更新至圆柱面模型上;规划激光器的清洗路径和位姿,使激光到达待清洗表面时的单位能量保持不变;令机器人沿转换后的清洗路径移动,并驱动操作臂以转换后的位姿控制激光器开展作业。本发明能够实现真空镀膜室激光清洗的远程自动化作业,且能够快速适配不同镀膜机。
本发明授权一种基于可移动机器人的真空镀膜室激光清洗方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种基于可移动机器人的真空镀膜室激光清洗方法,其特征在于,包括以下步骤: 在机器人的操作臂末端部署工具系统,所述工具系统包括结构光相机和激光器; 以真空镀膜室内坩埚的旋转中心为原点建立真空室坐标系; 选取多个坩埚上表面角点为特征点,获取这些特征点在真空室坐标系下的坐标得到坩埚的第一特征位姿; 将机器人移动至真空镀膜室附近,利用结构光相机获取坩埚在相机坐标系下的第二特征位姿; 基于第一特征位姿和第二特征位姿,确定真空室坐标系同机器人基坐标系间的第一映射关系; 将真空室内壁拟合为真空室坐标系下的多个不同半径的圆柱面模型,针对各个圆柱面模型规划结构光相机的采集线路并基于第一映射关系转换至机器人基坐标系下; 控制结构光相机沿转换后的采集线路进行拍摄,根据采集的数据识别出真空室内壁的待清洗表面并更新至圆柱面模型上; 基于更新后的圆柱面模型规划激光器的清洗路径和位姿,使激光器发射的激光到达待清洗表面时的单位能量保持不变; 基于第一映射关系将规划好的清洗路径和位姿转换至机器人基坐标系下,令机器人沿转换后的清洗路径移动,并驱动操作臂以转换后的位姿控制激光器开展作业。
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