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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所崔新旭获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利用于检测六足平台重复定位精度的装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120800193B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511301918.4,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权用于检测六足平台重复定位精度的装置及方法是由崔新旭;李旭;许洪刚;宋元章;马洪涛;韩冰设计研发完成,并于2025-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。

用于检测六足平台重复定位精度的装置及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及机械精度检测技术领域,尤其涉及一种用于检测六足平台重复定位精度的装置及方法,通过激光干涉仪组与在六足平台上的反射块配合,计算六足平台带动反射块运动产生的定位偏差估计值,再基于定位偏差估计值计算六足平台在三维空间中的单向重复定位精度,对六足平台进行位置移动和转动,进而完成三维空间的定位精度的计算与量化,从而使六足平台在正式投入使用之前,充分保证六足平台的使用精度,提升了检测的准确性和可靠性。

本发明授权用于检测六足平台重复定位精度的装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种用于检测六足平台重复定位精度的方法,其特征在于,根据用于检测六足平台重复定位精度的装置实现,其中,所述用于检测六足平台重复定位精度的装置包括: 反射块,设置于所述六足平台的载物台上,以所述反射块的顶点为原点,三个相互垂直的表面法线为坐标轴,建立相对坐标系;所述相对坐标系的坐标轴分别与所述六足平台的绝对坐标系的坐标轴对应平行; 激光干涉仪组,沿所述相对坐标系的坐标轴向所述反射块的三个相互垂直的表面发射光束,用于检测所述反射块的表面分别与对应激光干涉仪之间的距离变化信息; 线性促动器,用于调整所述反射块的位姿,使所述相对坐标系的坐标轴分别与所述绝对坐标系的坐标轴对应平行; 所述方法包括: S1:将所述反射块放置在所述载物台上,并控制所述激光干涉仪组沿所述相对坐标系的三个方向的坐标轴对应向所述反射块的三个表面的形心位置发射光束; S2:控制所述六足平台带动所述反射块沿所述绝对坐标系的任意轴方向移动到理论位置,并利用所述相对坐标系中相同轴方向上的激光干涉仪测量所述反射块所在的实际位置;计算所述理论位置与所述实际位置的定位误差; S3:重复n次步骤S2,并计算n个定位误差的平均值;计算所述平均值与所述实际位置之间的差距,得到定位偏差估计值;基于所述定位偏差估计值计算所述六足平台在所述绝对坐标系的当前轴方向上的单向重复定位精度; S4:重复步骤S2和S3,得到所述六足平台在所述绝对坐标系中剩余两个轴方向上的单向重复定位精度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,其通讯地址为:130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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