天津伍嘉联创科技发展股份有限公司付玉磊获国家专利权
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龙图腾网获悉天津伍嘉联创科技发展股份有限公司申请的专利一种晶圆自动供给设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120809643B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511254861.7,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种晶圆自动供给设备是由付玉磊;李兴;邹家伟;李秋辰;王立龙设计研发完成,并于2025-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆自动供给设备在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体器件生产技术领域,尤其涉及一种晶圆自动供给设备,包括机架、提篮机构、取放治具机构、晶圆下识别机构、移载机构、晶圆上识别机构、翻转机构、中转平台、晶圆供收机构、盖板盛放组件,晶圆供收机构用于提供晶圆,中转平台用于晶圆的中转,翻转机构用于翻转晶圆,晶圆下识别机构用于识别晶圆及盖板的特征信息,取放治具机构用于将承载治具从提篮机构取出,并将治具组合送回提篮机构,移载机构用于移载晶圆及盖板,晶圆上识别机构用于对晶圆供收机构中的晶圆取像,并输出角度位置信息。本发明提供的设备自动将晶圆取出后放到承载治具上,提高了生产效率,晶圆不会发生隐裂或破损,放置位置比较精确。
本发明授权一种晶圆自动供给设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆自动供给设备,其特征在于:包括机架及安装在机架上的提篮机构、取放治具机构、晶圆下识别机构、移载机构、晶圆上识别机构、翻转机构、中转平台、晶圆供收机构、盖板盛放组件,所述晶圆供收机构用于提供晶圆及包装晶圆的光盘、泡棉、垫片的回收,所述中转平台用于晶圆的中转,所述翻转机构用于翻转存放中转平台上需要翻转的晶圆,所述晶圆下识别机构用于识别被移载机构吸附的晶圆及盖板的特征信息,获得角度和位置信息,所述取放治具机构用于将承载治具从提篮机构取出,并将装夹完毕的治具组合送回提篮机构,所述移载机构用于在取放治具机构、晶圆供收机构、中转平台、盖板盛放组件之间流转,移载晶圆及盖板,所述晶圆上识别机构用于对晶圆供收机构中的晶圆取像,并输出角度和位置信息。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人天津伍嘉联创科技发展股份有限公司,其通讯地址为:300450 天津市滨海新区滨海高新区塘沽海洋科技园新北路4668号创新创业园30-A号厂房一层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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