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龙图腾网获悉长春长光精瓷复合材料有限公司申请的专利一种高纯度碳化硅瓦片舟制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120817808B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511312059.9，技术领域涉及：C04B35/565；该发明授权一种高纯度碳化硅瓦片舟制备方法是由曹琪;周立勋;董斌超设计研发完成，并于2025-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高纯度碳化硅瓦片舟制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体制造技术领域，具体公开了一种高纯度碳化硅瓦片舟制备方法，其制备方法为：1制备石墨烯包覆碳化硅粉体；2制备溶胶‑凝胶结合剂；3制备素坯；4制备烧结后胚体；5将烧结后坯体置于真空等离子体刻蚀机中，刻蚀，得高纯度碳化硅瓦片舟。所制备的高纯度碳化硅瓦片舟性能优势显著，比刚度高，实现轻量化与高刚性兼容，热导率高散热效率优异，室温热膨胀系数高，热稳定性突出，抗热震能力强，同时兼具精密成型、高致密性与高纯度，适配半导体高温精密加工场景。

本发明授权一种高纯度碳化硅瓦片舟制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高纯度碳化硅瓦片舟制备方法，其特征在于，包括以下制备步骤： 1将纳米碳化硅粉、氧化石墨烯分散液和硅烷偶联剂混合，搅拌均匀后，喷雾干燥，得初级包覆粉；将初级包覆粉置于氢气气氛中，还原2-3h，得石墨烯包覆碳化硅粉体； 2将正硅酸乙酯、乙醇、去离子水混合，调节pH至3-4，在50-60℃下搅拌3-4h，形成硅溶胶；向硅溶胶中加入聚乙烯吡咯烷酮和聚烯丙基胺盐酸盐，继续搅拌1-2h，得溶胶-凝胶结合剂； 3将石墨烯包覆碳化硅粉体、高纯度碳纳米管、溶胶-凝胶结合剂混合，经真空练泥后装入瓦片舟模具，先在100-150MPa压力下保压5-8min，再以50-60MPamin速率升压至250-300MPa，保压10-12min，得到素坯； 4将素坯置于石墨炉中，先通入氮气，升温至1100-1200℃，保温40-60min，再切换为氩气，以1-2℃min升温至2100-2150℃，在8-10MPa压力下保温3-4h，随炉冷却至500-600℃，通入氦气加速冷却至室温，得烧结后胚体； 5将烧结后坯体置于真空等离子体刻蚀机中，通入混合气体，刻蚀30-40min，得高纯度碳化硅瓦片舟。

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