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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利一种晶圆刻蚀终点的激光干涉检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120819722B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511300010.1，技术领域涉及：F16M11/04；该发明授权一种晶圆刻蚀终点的激光干涉检测装置是由张南南;张黎明;钟辉;郭军涛;唐凯;黄兴玉设计研发完成，并于2025-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆刻蚀终点的激光干涉检测装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆刻蚀终点的激光干涉检测装置，包括承载装置，用于承载晶圆；检测单元，与所述承载装置具有间隔，用于发射检测光线，所述检测光线聚焦至所述晶圆的表面的待检测区，以检测所述晶圆的刻蚀终点位置驱动单元，包括驱动部和调节部，所述调节部的一端与所述驱动部连接，另一端用于所述检测单元连接；所述驱动部用于驱动所述调节部和所述检测单元沿X方向或Y方向移动；所述调节部包括可移动的第一调节件，所述第一调节件置于所述检测单元底部，在移动过程中推动所述检测单元运动，以调节所述检测单元的偏转角度。本发明在检测单元发生角度偏转时，能够对检测单元进行调节，使检测单元发射的光线照射至预设位置。

本发明授权一种晶圆刻蚀终点的激光干涉检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆刻蚀终点的激光干涉检测装置，其特征在于，包括： 承载装置100，用于承载晶圆； 检测单元200，与所述承载装置100具有间隔，用于发射检测光线，所述检测光线聚焦至所述晶圆的表面的待检测区，以检测所述晶圆的刻蚀终点位置； 驱动单元300，包括驱动部400和调节部500，所述调节部500的一端与所述驱动部400连接，另一端用于所述检测单元200连接；所述驱动部400用于驱动所述调节部500和所述检测单元200沿X方向或Y方向移动；所述调节部500包括可移动的第一调节件510，所述第一调节件510置于所述检测单元200底部，在移动过程中推动所述检测单元200运动，以调节所述检测单元200的偏转角度； 所述调节部500还包括调节平台520、带动件530和控制组件； 所述调节平台520的顶面用于安装所述检测单元200，且所述检测单元200的底面贴合所述调节平台520的顶面；所述调节平台520具有调节腔521；所述调节平台520的顶面开设有多个与所述调节腔521连通的调节孔522；多个所述调节孔522沿X方向和Y方向间隔均匀的分布； 所述第一调节件510的一端设于所述调节孔522，另一端可移动的设于所述调节腔521的底壁；所述带动件530设于所述第一调节件510的侧壁； 所述控制组件设于所述调节腔521内，用于驱动所述带动件530运动，以使所述第一调节件510的端部从所述调节孔522凸出，并推动所述检测单元200运动，调节所述检测单元200的偏转角度； 所述调节部500还包括第二调节件540；所述第二调节件540设于所述调节孔522的内壁，且所述第二调节件540为柔性材质；所述第一调节件510的一端设于所述第二调节件540的端面。

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