大连益盛达智能科技有限公司李忠奎获国家专利权
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龙图腾网获悉大连益盛达智能科技有限公司申请的专利一种视觉检测的自适应参数优化与调节系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120821206B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511331468.3，技术领域涉及：G05B13/04；该发明授权一种视觉检测的自适应参数优化与调节系统是由李忠奎;杜玉双设计研发完成，并于2025-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种视觉检测的自适应参数优化与调节系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种视觉检测的自适应参数优化与调节系统，包括：图像采集与特征提取模块；参数离散化模块；差分隐私保护模块和参数聚合与优化模块。本发明使用了量子退火启发的参数空间离散化技术，将连续的检测参数映射到有限的离散能量态，使得差分隐私噪声只影响状态转移概率而不直接作用于参数值，从而克服了传统差分隐私保护在连续空间添加噪声导致检测精度严重下降的因素，解决了分布式环境下视觉检测参数优化的隐私保护与精度保持的矛盾问题，通过同态加密的联邦聚合，各工厂能够在不暴露原始参数梯度的情况下共享优化信息。
本发明授权一种视觉检测的自适应参数优化与调节系统在权利要求书中公布了：1.一种视觉检测的自适应参数优化与调节系统，其特征在于，包括： 图像采集与特征提取模块：使用偏振光照射系统对晶圆进行多角度成像，采用小波变换去噪和CLAHE对比度增强进行图像预处理，计算斯托克斯参数向量和偏振特征，最后通过小波多尺度分析生成特征向量； 参数离散化模块：对检测参数进行标准化预处理，构建基于哈密顿量的能量函数，使用模拟退火算法将连续参数空间离散化为有限能量态集合，并计算状态转移概率矩阵； 差分隐私保护模块：基于本地偏振光谱数据计算性能损失函数梯度，通过梯度裁剪和拉普拉斯噪声添加实现差分隐私保护，同时优化隐私预算参数以平衡隐私保护和检测性能； 参数聚合与优化模块：采用同态加密技术对各工厂的加噪状态转移矩阵进行安全聚合，基于数据量、质量和历史贡献计算工厂权重，通过马尔可夫链迭代得到全局最优参数配置，最后进行本地参数适配。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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