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龙图腾网获悉上海悦匠实业有限公司申请的专利一种半导体设备的可视化监控方法、系统、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120824227B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511324276.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种半导体设备的可视化监控方法、系统、设备及介质是由王开兵;孙华设计研发完成，并于2025-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体设备的可视化监控方法、系统、设备及介质在说明书摘要公布了：本申请提供一种半导体设备的可视化监控方法、系统、设备及介质，方法包括采集半导体设备运行过程中的多源数据，基于动作原语类型将任务拆分为多个子任务，并计算每一动作原语的有效执行窗口，据此构建任务片段，形成任务片段集合；在任务片段集合初步选出正在执行或尚未执行的任务片段形成任务片段候选集合，对任务片段候选集合中任意两个任务片段进行比较，筛选出有效执行窗口存在时间重叠的任务片段对，生成任务片段对集合；针对任务片段对集合中每一任务片段对进行时间冲突判定及空间冲突判定。本申请采用二维轻量化仿真实现对半导体设备操作臂运行过程的可视化监控，提升实时性的同时，实现对多操作臂潜在干涉风险的快速监控与直观展示。

本发明授权一种半导体设备的可视化监控方法、系统、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备的可视化监控方法，其特征在于，包括： 数据建模，采集半导体设备运行过程中的多源数据，基于动作原语类型将任务拆分为多个子任务，并计算每一动作原语的有效执行窗口，据此构建任务片段，形成任务片段集合； 任务片段对集合生成，在所述任务片段集合初步选出正在执行或尚未执行的任务片段形成任务片段候选集合，对任务片段候选集合中任意两个任务片段进行比较，筛选出有效执行窗口存在时间重叠的任务片段对，生成任务片段对集合； 二维冲突判定，针对所述任务片段对集合中每一任务片段对进行时间冲突判定及空间冲突判定，其中： 所述时间冲突判定为当所述任务片段对中两任务片段的目标工位相同，且其有效执行窗口的时间重叠持续时长大于全局时间安全间隔时，则判定该任务片段对存在时间冲突； 所述空间冲突判定为在二维仿真参数空间下，基于全局角度安全间隔、全局半径安全间隔及操作臂缓冲宽度对角度区间，对角度区间及半径区间进行安全膨胀，得到第一归一化角度区间、第二归一化角度区间、第一半径区间及第二半径区间，当角度区间满足二维角度相交判定规则且半径区间满足二维半径相交判定规则时，则判定该任务片段对存在空间冲突。

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