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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利调节吸附范围的末端执行器、机械手及传送设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120824247B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511323920.1，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权调节吸附范围的末端执行器、机械手及传送设备是由张朋兵;顾橙蕾;唐乐设计研发完成，并于2025-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本调节吸附范围的末端执行器、机械手及传送设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种调节吸附范围的末端执行器、机械手及传送设备，调节吸附范围的末端执行器包括延伸件以及吸附件，延伸件内部沿延伸方向开设有第一通道和第二通道，吸附件包括吸附主体、若干吸附副体和若干吸附组件，吸附主体的四周设有若干组管道，一组管道包括第一管道和第二管道，吸附副体上开设有一组通孔，一组通孔包括第一通孔和第二通孔，第一管道与所述第一通孔滑动密封连接，第二管道与第二通孔滑动密封连接，且第二通孔没有其余连接，通过控制所述第二管道内的气压，可使吸附副体相对吸附主体发生运动，使靠近晶圆边缘的位置能够被所述吸附副体上的吸附组件吸附，使晶圆的边缘能够得到支撑，从而避免晶圆脱落。

本发明授权调节吸附范围的末端执行器、机械手及传送设备在权利要求书中公布了：1.一种调节吸附范围的末端执行器，其特征在于，包括： 延伸件，内部沿延伸方向开设有第一通道和第二通道；以及， 吸附件，包括吸附主体、若干吸附副体和若干吸附组件，所述吸附主体固定设置于所述延伸件一端的上侧，所述吸附主体内开设有连通所述第一通道的第三通道和连通所述第二通道的第四通道，所述吸附主体的四周设有若干组管道，一组管道包括第一管道和第二管道，所述第一管道与所述第三通道连通，所述第二管道与所述第四通道连通，所述吸附副体上开设有一组通孔，一组所述通孔包括第一通孔和第二通孔，一组所述通孔对应一组所述管道，所述第一管道与所述第一通孔滑动密封连接，所述第二管道与所述第二通孔滑动密封连接，所述吸附主体的上侧面开设有若干第一连接口，所述第一连接口与所述第三通道连通，所述吸附副体的上侧面开设有若干第二连接口，所述第二连接口与所述第一通孔连通，所述吸附组件包括连通的第一开口和第二开口，所述吸附组件固定设置于所述吸附主体的上侧面或所述吸附副体的上侧面，所述第一开口与所述第一连接口或所述第二连接口连通。

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