江苏亚电科技股份有限公司李刚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏亚电科技股份有限公司申请的专利一种集合式单片晶圆清洗喷嘴获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223543214U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422730342.0，技术领域涉及：B05B7/04；该实用新型一种集合式单片晶圆清洗喷嘴是由李刚;童建;周兴江;吴鹏涛;沈文镇设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集合式单片晶圆清洗喷嘴在说明书摘要公布了：本申请涉及一种集合式单片晶圆清洗喷嘴，属于晶圆清洗设备技术领域。本实用新型的集合式单片晶圆清洗喷嘴，喷嘴悬臂的前端安装有安装板，用于混合氮气和异丙醇的混合块和用于喷出清洗液或者清水的喷嘴组件均设置在安装板上，使得本实用新型的集合式单片晶圆清洗喷嘴能够同时喷出氮气和异丙醇混合气体和清洗液或者清水，同时氮气和异丙醇混合气体靠近清洗液或者清水出口，也能够对清洗液或者清水的出口起到干燥作用，防止喷嘴组件上残留液体。
本实用新型一种集合式单片晶圆清洗喷嘴在权利要求书中公布了：1.一种集合式单片晶圆清洗喷嘴，其特征在于，包括： 升降驱动件1； 旋转驱动件2； 旋转管3，所述旋转管3能够受升降驱动件1的驱动而升降，同时能够受旋转驱动件2的驱动而旋转； 连接块4，设置在旋转管3顶端； 悬臂5，安装在连接块4上，中间中空； 安装板6，安装于喷嘴悬臂5前端； 混合块7，设置在安装板6上，所述混合块7包括本体71，设置在本体71上的氮气通入接口72和异丙醇通入接口73，所述混合块7底部为混合液出口74，氮气和异丙醇在混合块7内混合后从混合液出口74喷出； 喷嘴组件8，用于喷出清洗液或者清水，设置在安装板6上位于所述混合块7一侧。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏亚电科技股份有限公司，其通讯地址为：225500 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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