上海稷以科技有限公司彭帆获国家专利权
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龙图腾网获悉上海稷以科技有限公司申请的专利一种改善等离子高温氮化均匀性的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223548070U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423011046.1，技术领域涉及：C23C8/36；该实用新型一种改善等离子高温氮化均匀性的装置是由彭帆设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改善等离子高温氮化均匀性的装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种改善等离子高温氮化均匀性的装置，包括工艺腔室，所述工艺腔室内中部设有一聚焦环，聚焦环中部设有供等离子体通过的聚焦通孔。本实用新型与现有技术相比的优点是：通过聚焦环结构使得等离子体能够通过聚焦环的聚焦通孔，而其他区域则等离子被聚焦环本体遮挡而无法通过，可以提高工艺腔体的中心区域等离子体的浓度，降低工艺腔体边缘处等离子浓度，从而实现更加均匀的氮化薄膜效果。
本实用新型一种改善等离子高温氮化均匀性的装置在权利要求书中公布了：1.一种改善等离子高温氮化均匀性的装置，包括工艺腔室，其特征在于：所述工艺腔室内中部设有一聚焦环，聚焦环中部设有供等离子体通过的聚焦通孔，所述工艺腔室下部设有用于放置晶圆的高温衬底，所述聚焦环的位置位于高温衬底上方的8-15mm处。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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