极电光能有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉极电光能有限公司申请的专利镀膜装置及镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223548074U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423251212.5,技术领域涉及:C23C14/22;该实用新型镀膜装置及镀膜设备是由请求不公布姓名;邵君;邓贤柱设计研发完成,并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜装置及镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及镀膜技术领域,公开了镀膜装置及镀膜设备,其中该镀膜装置,主要包括:镀膜室和夹取机构;镀膜室通过腔门分隔为真空的工艺腔和配置腔,工艺腔和配置腔内均设有靶材;夹取机构设于镀膜室内,夹取机构包括夹爪和与夹爪连接的驱动组件,驱动组件适于驱动夹爪更换工艺腔和配置腔内的靶材。本实用新型在镀膜室内设置工艺腔和配置腔,当需要更换工艺腔内镀膜所需靶材时,开启腔门,通过镀膜室内的夹取机构的驱动组件驱动夹爪将工艺腔内的靶材更换为配置腔内的靶材,可实现指定靶材镀膜,工艺腔和配置腔均为真空状态,因此无需破真空和抽真空处理,从而提升了镀膜更换靶材的作业效率。
本实用新型镀膜装置及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种镀膜装置,其特征在于,包括: 镀膜室1,通过腔门101分隔为真空的工艺腔102和配置腔103,所述工艺腔102和所述配置腔103内均设有靶材2; 夹取机构3,设于所述镀膜室1内,所述夹取机构3包括夹爪301和与所述夹爪301连接的驱动组件302,所述驱动组件302适于驱动所述夹爪301更换所述工艺腔102和所述配置腔103内的所述靶材2。
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