苏州佑伦真空设备科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种溅射镀膜机的隔板冷却流道机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223548077U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422869409.9，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种溅射镀膜机的隔板冷却流道机构是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射镀膜机的隔板冷却流道机构在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种溅射镀膜机的隔板冷却流道机构，包括工艺腔体，所述工艺腔体为中空结构，所述工艺腔体的一侧边设有晶圆输送口，所述工艺腔体的与晶圆输送口相邻的两侧边外设有隔板冷却流道机构，所述隔板冷却流道机构包括隔板，所述隔板为中空结构，所述中空结构内设有冷却流道，所述冷却流道的一端设有进水口，另一端设有出水口，从进水口通入冷却水，流经冷却流道，再从出水口流出，使得工艺腔体侧壁降温，从而给整个工艺腔体冷却，防止因工艺腔体内温度过高影响镀膜效果。
本实用新型一种溅射镀膜机的隔板冷却流道机构在权利要求书中公布了：1.一种溅射镀膜机的隔板冷却流道机构，包括工艺腔体10，所述工艺腔体10为中空结构，所述工艺腔体10的一侧边设有晶圆输送口11，其特征在于：所述工艺腔体10的与晶圆输送口11相邻的两侧边外设有隔板冷却流道机构20，所述隔板冷却流道机构20包括隔板30，所述隔板30为中空结构，所述中空结构内设有冷却流道40，所述冷却流道40的一端设有进水口41，另一端设有出水口47，从进水口41通入冷却水，流经冷却流道40，再从出水口47流出，使得工艺腔体10侧壁降温。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州佑伦真空设备科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区阳浦路78号6号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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