极电光能有限公司彭冲获国家专利权
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龙图腾网获悉极电光能有限公司申请的专利真空镀膜系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223548085U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423238338.9,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型真空镀膜系统是由彭冲;李明洁;吴俊杰;请求不公布姓名;王雪戈;邵君;于振瑞设计研发完成,并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空镀膜系统在说明书摘要公布了:本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域,公开了一种真空镀膜系统,包括:基片架,用于放置基片且其在运输方向上前后两侧均敞开设置;工艺镀膜腔室,其内部设有过渡传送机构和跑片传送机构,且工艺镀膜腔室内还设有真空镀膜装置,真空镀膜装置位于跑片传送机构的一侧且与其相对设置;在基片架的运输方向上,过渡传送机构的尾部与跑片传送机构的首部对接;过渡传送机构的传送速度大于跑片传送机构的传送速度,后一个基片架在跑片传送机构上相邻于前一个基片架。本实用新型通过多段传送机构设计,并结合新式基片架,使得基片架可以在工艺跑片时呈相邻状态,相邻基片之间的间隙大大减小,从而提高镀膜过程中的材料利用率、生产节拍及组件稳定性。
本实用新型真空镀膜系统在权利要求书中公布了:1.一种真空镀膜系统,其特征在于,包括: 基片架401,用于放置待镀膜的基片501,且所述基片架401在运输方向上的前后两侧均敞开设置; 工艺镀膜腔室104,其内部设有过渡传送机构303和跑片传送机构304,且所述工艺镀膜腔室104内还设有真空镀膜装置107,所述真空镀膜装置107位于所述跑片传送机构304的一侧且与其相对设置; 在所述基片架401的运输方向上,所述过渡传送机构303的尾部与所述跑片传送机构304的首部对接;其中,所述过渡传送机构303的传送速度大于所述跑片传送机构304的传送速度;所述过渡传送机构303推送所述基片架401至所述跑片传送机构304上,且使得后一个所述基片架401在所述跑片传送机构304上相邻于前一个所述基片架401。
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