拓荆科技股份有限公司蔡东坡获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利一种卡钳结构、腔体及薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223548088U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423201410.0，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种卡钳结构、腔体及薄膜沉积设备是由蔡东坡;宋宇;高级设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种卡钳结构、腔体及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种卡钳结构、腔体及薄膜沉积设备，卡钳结构用于压紧第一夹缝阀外壳和第二夹缝阀外壳，第一夹缝阀外壳和第二夹缝阀外壳设置在腔室内且两者之间具有空间，包括本体、压紧单元以及固定件，压紧单元设置在本体上，固定件穿过压紧单元后与空间内的腔室的外壁连接；压紧单元包括第一压紧块和第二压紧块，第一压紧块的一侧与本体连接，另一侧能够与第一夹缝阀外壳配合，第二压紧块的一侧与本体连接，另一侧能够与第二夹缝阀外壳配合。该卡钳结构能够与薄膜沉积设备提前进行线下预装，针对空间狭小无法通过其余工具进行操作的问题，本实施例提供的卡钳结构能够轻松完成，实现了在狭小空间通过夹缝阀外壳压紧密封圈的要求。
本实用新型一种卡钳结构、腔体及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种卡钳结构，其特征在于，所述卡钳结构与腔室配合，用于压紧第一夹缝阀外壳和第二夹缝阀外壳，所述第一夹缝阀外壳和所述第二夹缝阀外壳设置在腔室内且两者之间具有空间，所述卡钳结构包括本体、压紧单元以及固定件，所述压紧单元设置在所述本体上，所述固定件穿过所述压紧单元后与所述空间内的腔室的外壁连接；所述压紧单元包括第一压紧块和第二压紧块，所述第一压紧块的一侧与所述本体连接，另一侧能够与所述第一夹缝阀外壳配合，所述第二压紧块的一侧与所述本体连接，另一侧能够与所述第二夹缝阀外壳配合。
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