沈阳晶睿自动化科技有限公司王玥琦获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉沈阳晶睿自动化科技有限公司申请的专利一种可独立加装的给薄膜沉积设备供特气的阀箱获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223548089U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422719999.7，技术领域涉及：C23C16/448；该实用新型一种可独立加装的给薄膜沉积设备供特气的阀箱是由王玥琦设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可独立加装的给薄膜沉积设备供特气的阀箱在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体技术领域，且公开了一种可独立加装的给薄膜沉积设备供特气的阀箱，包括钣金柜体、主气源管路、压缩气体阀岛配件、汽化器及流量计，所述钣金柜体的内部安装有化学品管路，所述钣金柜体的内后壁安装有管路背板，所述钣金柜体的底部安装有支撑架，所述钣金柜体的内后壁开设有穿线管孔，所述钣金柜体的右内壁安装有阀岛组件，所述钣金柜体的右侧壁安装有阀岛挡板，所述钣金柜体的内底壁设置有接液槽。该可独立加装的给薄膜沉积设备供特气的阀箱，在不改变原始气阀箱的基础上，在外部独立加装，可以通过管路和电气控温等方面独立控制，并可以与原始气阀箱对接，加装方便，安装简单，能快速有效的增加所需液态源工艺气体。
本实用新型一种可独立加装的给薄膜沉积设备供特气的阀箱在权利要求书中公布了：1.一种可独立加装的给薄膜沉积设备供特气的阀箱，包括钣金柜体1、主气源管路、压缩气体阀岛配件、汽化器及流量计，其特征在于：所述钣金柜体1的内部安装有化学品管路2，所述钣金柜体1的内后壁安装有管路背板3，所述钣金柜体1的底部安装有支撑架4，所述钣金柜体1的内后壁开设有穿线管孔5，所述钣金柜体1的右内壁安装有阀岛组件6，所述钣金柜体1的右侧壁安装有阀岛挡板7，所述钣金柜体1的内底壁设置有接液槽8，所述钣金柜体1的内底壁安装有接地螺栓9，所述阀岛组件6由安装轨道条、阀片和控制模块组成，所述阀岛组件6整体通气管路配置了转换接头和手阀。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人沈阳晶睿自动化科技有限公司，其通讯地址为：110000 辽宁省沈阳市沈抚示范区伯官大街77-7号4门；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励