立潮半导体科技(江苏无锡)有限公司沈亚南获国家专利权
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龙图腾网获悉立潮半导体科技(江苏无锡)有限公司申请的专利一种PECVD用镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223548090U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422845592.9，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种PECVD用镀膜装置是由沈亚南设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PECVD用镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种PECVD用镀膜装置，包括镀膜装置和加热组件，所述镀膜装置包括腔室本体，所述腔室本体内安装有工件放置板，所述腔室本体内在工件放置板的上端安装有第一电极板，所述腔室本体内在工件放置板的下端安装有第二电极板，所述腔室本体的后侧壁板内开设有安装腔；所述加热组件，包括加热板，所述加热板安装于安装腔内，所述加热板上开设有多个通气孔，所述腔室本体后侧壁的内侧壁上安装有均流装置，所述均流装置与安装腔的内部连通。本实用新型通过将加热板设置在安装腔内，同时工艺气体需要通过安装腔流动，使得工艺气体可以与加热板充分接触，提高了工艺气体与加热板接触的时间，以便使得工艺气体受热均匀，从而提高了镀膜的均匀性。
本实用新型一种PECVD用镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种PECVD用镀膜装置，其特征在于，包括： 镀膜装置，包括腔室本体，所述腔室本体内安装有工件放置板，所述腔室本体内在工件放置板的上端安装有第一电极板，所述腔室本体内在工件放置板的下端安装有第二电极板，所述腔室本体的后侧壁板内开设有安装腔； 加热组件，包括加热板，所述加热板安装于安装腔内，所述加热板上开设有多个通气孔，所述腔室本体后侧壁的内侧壁上安装有均流装置，所述均流装置与安装腔的内部连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人立潮半导体科技(江苏无锡)有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国物联网国际创新园E2-201；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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