杭州富芯半导体有限公司史军奋获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利一种样品台及半导体生产设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223548093U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423030562.9，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种样品台及半导体生产设备是由史军奋;殷文亮设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种样品台及半导体生产设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种样品台及半导体生产设备，样品台包括底座、台体、以及调节机构；调节机构包括第一转轴、第二转轴、锁紧件和驱动件；第一转轴与座连接，第二转轴与第一转轴垂直连接，第二转轴与台体连接；驱动件与第一转轴及第二转轴连接；驱动件能够在锁紧件未锁紧第一转轴与底座但锁紧第二转轴与第一转轴时部分地运动以驱使第一转轴自转并带动台体绕第一转轴的轴线转动，以及能够在锁紧件未锁紧第二转轴与第一转轴处于时部分地运动以驱使第二转轴自转并带动台体绕第二转轴的轴线转动；驱动件上设有指示驱动件的运动量的指示标记；第一转轴和第二转轴均水平布置时，通过调节机构驱使台体定量运动，快速调平台体。
本实用新型一种样品台及半导体生产设备在权利要求书中公布了：1.一种样品台，其特征在于，包括： 底座； 台体； 调节机构，包括第一转轴、第二转轴、锁紧件和驱动件；所述第一转轴与所述底座连接，所述第二转轴与所述第一转轴垂直且连接，所述第二转轴还与所述台体连接；所述锁紧件选择性地锁紧所述第一转轴与所述底座，以及选择性地锁紧所述第二转轴与所述第一转轴；所述驱动件与所述第一转轴及所述第二转轴连接； 所述驱动件被配置为：在所述第一转轴与所述底座处于非锁紧状态且所述第二转轴与所述第一转轴处于锁紧状态时能够在外力的驱使下部分地运动，进而驱使所述第一转轴相对于所述底座自转并带动所述台体绕所述第一转轴的轴线转动，以及在所述第二转轴与所述第一转轴处于非锁紧状态时能够在外力的驱使下部分地运动，进而驱使所述第二转轴相对于所述第一转轴自转并带动所述台体绕所述第二转轴的轴线转动； 所述驱动件上设置有用于指示所述驱动件的运动量和所述台体的转动量的指示标记。
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