中国科学院物理研究所徐啸获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院物理研究所申请的专利一种化学水浴沉积的薄膜生长原位监测及控制系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223548097U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423213789.7，技术领域涉及：C23C18/16；该实用新型一种化学水浴沉积的薄膜生长原位监测及控制系统是由徐啸;孟庆波;郭谭;石将建;李冬梅;罗艳红;吴会觉;李一明设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学水浴沉积的薄膜生长原位监测及控制系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种化学水浴沉积的薄膜生长原位监测及控制系统。该系统包括：薄膜沉积装置，用于通过化学水浴沉积在基片上沉积化合物薄膜并控制化学水浴沉积的反应进程；信号采集装置，用于获取化学水浴沉积过程中基片表面的颜色信号；以及信号处理装置，与信号采集装置连接，配置为接收信号采集装置传输的颜色信号，对颜色信号进行数值化处理得到与薄膜的厚度相关的数值化数据，并基于数值化数据确定薄膜的厚度和均匀度。本实用新型的方案可将薄膜的颜色与厚度关联，并且在分析薄膜厚度的同时还能够分析薄膜的均匀性。
本实用新型一种化学水浴沉积的薄膜生长原位监测及控制系统在权利要求书中公布了：1.一种化学水浴沉积的薄膜生长原位监测及控制系统，其特征在于，包括： 薄膜沉积装置，用于通过化学水浴沉积在基片上沉积化合物薄膜并控制所述化学水浴沉积的反应进程； 信号采集装置，用于获取化学水浴沉积过程中所述基片表面的颜色信号；以及 信号处理装置，与所述信号采集装置连接，配置为接收所述信号采集装置传输的颜色信号，对所述颜色信号进行数值化处理得到与所述薄膜的厚度相关的数值化数据，并基于所述数值化数据确定所述薄膜的厚度和均匀度。
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