辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司赵树君获国家专利权
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龙图腾网获悉辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司申请的专利一种用于测试石英过滤器流量的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223551138U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423258756.4，技术领域涉及：G01F1/00；该实用新型一种用于测试石英过滤器流量的装置是由赵树君;张建;邢洪超;韩皓;王兆岩;杨柳;丁文杰设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于测试石英过滤器流量的装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于测试石英过滤器流量的装置，涉及石英过滤器流量测试技术领域，包括通过管路依次连接的高纯氮气气源、第一减压器、缓冲罐、过滤器、精密减压器、压力变送器、电磁阀、调节阀、电子流量计、玻璃转子流量计以及石英过滤器，通过各元件的配合，实现了对石英过滤器流量的精确测量和不同压力下的流量测试，提高了测量精度，确保了测试结果的可靠性，电脑、打印机以及与之电性连接的压力变送器、电磁阀和电子流量计，实现了系统的自动化控制和数据记录，安全阀的设计确保了在二级减压器失效时能够自动释放系统内的高压，保护石英过滤器和系统管路的安全，提高了操作的安全性，减少了人工干预，提高了工作效率。
本实用新型一种用于测试石英过滤器流量的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于测试石英过滤器流量的装置，其特征在于，包括通过管路依次连接的高纯氮气气源1、用于对气体进行一级减压的第一减压器2、用于对流入系统管路的气体进行缓冲的缓冲罐4、用于对气源中的杂质进行过滤的过滤器5、用于精确调节系统的压力的精密减压器6、用于读取二级减压后的压力数值的压力变送器7、用于控制气体通断的电磁阀8、对系统的流量进行调节的调节阀10、电子流量计11、玻璃转子流量计12以及石英过滤器14； 所述的装置还包括开断组件以及控制组件。
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