无锡卓海科技股份有限公司郭庆丰获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡卓海科技股份有限公司申请的专利一种晶圆缺陷检测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223551598U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422001001.X，技术领域涉及：G01N21/47；该实用新型一种晶圆缺陷检测系统是由郭庆丰;相宇阳;俞胜武设计研发完成，并于2024-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆缺陷检测系统在说明书摘要公布了：本实用新型实施例公开了一种晶圆缺陷检测系统，涉及光学检测技术领域。晶圆缺陷检测系统包括第一激光器、第二激光器、第一探测器、第二探测器以及处理器，第一探测器和第二探测器均与处理器连接；第一激光器输出的紫外激光束入射至待测晶圆的表面，经过待测晶圆的表面缺陷散射的紫外光线入射至第一探测器；第二激光器输出的红外激光束入射至待测晶圆，部分红外激光束透射至待测晶圆内部，待测晶圆的内部缺陷散射的红外光线入射至第二探测器；处理器根据第一探测器的信号和第二探测器的信号确定待测晶圆的表面缺陷和内部缺陷。本实用新型实施例能够在同一检测流程中实现晶圆表面与内部缺陷的同步检测，提高了检测效率。
本实用新型一种晶圆缺陷检测系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷检测系统，其特征在于，包括第一激光器、第二激光器、第一探测器、第二探测器以及处理器，所述第一探测器和所述第二探测器均与所述处理器连接； 所述第一激光器输出的紫外激光束入射至待测晶圆的表面，经过所述待测晶圆的表面缺陷散射的紫外光线入射至所述第一探测器； 所述第二激光器输出的红外激光束入射至待测晶圆，部分所述红外激光束透射至所述待测晶圆内部，所述待测晶圆的内部缺陷散射的红外光线入射至所述第二探测器； 所述处理器根据所述第一探测器的信号和所述第二探测器的信号确定所述待测晶圆的表面缺陷和内部缺陷。
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