东莞理工学院王红成获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞理工学院申请的专利一种晶圆表面缺陷检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223551632U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422902827.3，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型一种晶圆表面缺陷检测装置是由王红成;黄晓园设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆表面缺陷检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型的一种晶圆表面缺陷检测装置，包括摄像头和夹具，所述夹具包括安装在一起的上夹具和下夹具，上夹具包括两个上夹爪，两个上夹爪都设有盖板，两个上夹爪铰接在一起，可转动打开从而使上夹具的盖板离开晶圆正面边缘；下夹具包括两个下夹爪，两个下夹爪都设有支撑板，两个下夹爪铰接在一起，可转动打开从而使下夹具的支撑板离开晶圆反面边缘。在对晶圆正面进行缺陷检测时，把上夹具转动打开使上夹具的盖板离开晶圆正面边缘，那么盖板就不会遮挡晶圆正面边缘。在正面检测完成后，让夹具带动所夹住的晶圆一起转动至上下颠倒。在需对晶圆反面进行缺陷检测时，就转动打开下夹具，然后就使用摄像头拍摄晶圆反面从而对其进行缺陷检测。
本实用新型一种晶圆表面缺陷检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面缺陷检测装置，包括用于检测晶圆表面缺陷的摄像头和用于夹住正面朝上的晶圆的夹具，其特征在于：所述夹具包括安装在一起的上夹具和下夹具，上夹具包括用于夹住晶圆上部的两个上夹爪，两个上夹爪都设有用于盖在晶圆正面边缘的盖板，两个上夹爪铰接在一起，可转动打开从而使盖板离开晶圆正面边缘；下夹具包括用于夹住晶圆下部的两个下夹爪，两个下夹爪都设有用于支撑晶圆反面边缘的支撑板，两个下夹爪铰接在一起，可转动打开从而使支撑板离开晶圆反面边缘；上、下夹具可带动所夹住的晶圆一起绕横向轴转动至上下颠倒。
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