深圳市鹏进高科技有限公司廖祥华获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉深圳市鹏进高科技有限公司申请的专利离子注入设备、离子注入装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223552495U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423096058.9，技术领域涉及：H01J37/317；该实用新型离子注入设备、离子注入装置是由廖祥华;贺金良;余懍智;杨树鑫设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子注入设备、离子注入装置在说明书摘要公布了：本公开提供了一种离子注入设备、离子注入装置，涉及半导体制造技术领域，旨在解决离子注入设备产能较低的问题。所述离子注入设备包括第一离子注入机、第二离子注入机、第一连接通道和第一传送机构。第一离子注入机具有第一腔室。第二离子注入机具有第二腔室。第一连接通道具有第三腔室；第三腔室与第一腔室连通，并与第二腔室连通。第一传送机构的传送范围覆盖至少部分第一腔室，至少部分第二腔室，以及第三腔室。上述离子注入设备应用于半导体材料的制造，以实现半导体材料的掺杂。
本实用新型离子注入设备、离子注入装置在权利要求书中公布了：1.一种离子注入设备，其特征在于，包括： 第一离子注入机，具有第一腔室； 第二离子注入机，具有第二腔室； 第一连接通道，具有第三腔室；所述第三腔室与所述第一腔室连通，并与所述第二腔室连通； 第一传送机构；所述第一传送机构的传送范围覆盖至少部分所述第一腔室，至少部分所述第二腔室，以及所述第三腔室。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市鹏进高科技有限公司，其通讯地址为：518100 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区新厦大道81号1栋301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励