拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司王晨获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司申请的专利一种用于晶圆键合的对准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223552507U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422719681.9，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种用于晶圆键合的对准装置是由王晨;李璇设计研发完成，并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆键合的对准装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于晶圆键合的对准装置。该对准装置包括：红外源，提供用于对准第一晶圆和第二晶圆的红外光束；共聚焦光学系统，位于第一晶圆的一侧，用于将红外光束透过第一晶圆传输到第一晶圆的第二表面和与之相对的第二晶圆的第一表面，以分别获取第二表面上的第一标识和第一表面上的第二标识的定位；以及运动机构，分别连接第一晶圆和第二晶圆，基于第一标识和第二标识的定位，移动第一晶圆和或第二晶圆的位置，以借助红外光束使得第一标识和第二标识垂直对准。本实用新型能够避免两套光学系统光轴偏差所导致的对准误差，以及为获取另一侧的晶圆标识而使运动平台避让所导致的移动误差，从而提高对位精度，进而提升晶圆键合的精度。
本实用新型一种用于晶圆键合的对准装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆键合的对准装置，其特征在于，包括： 红外光源，提供用于对准第一晶圆和第二晶圆的红外光束； 共聚焦光学系统，位于所述第一晶圆的一侧，用于将所述红外光束透过所述第一晶圆传输到所述第一晶圆的第二表面，和与之相对的所述第二晶圆的第一表面，以分别获取所述第二表面上的第一标识和所述第一表面上的第二标识的定位；以及 运动机构，分别连接所述第一晶圆和所述第二晶圆，基于所述第一标识和所述第二标识的定位，移动所述第一晶圆和或所述第二晶圆的位置，以借助所述红外光束使得所述第一标识和所述第二标识垂直对准。
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