江苏京创先进电子科技有限公司王永强获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉江苏京创先进电子科技有限公司申请的专利半导体器件加工设备及移载机械手获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223552511U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422558817.2,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型半导体器件加工设备及移载机械手是由王永强;童永娟;孙志超;赵锋;蔡国庆设计研发完成,并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体器件加工设备及移载机械手在说明书摘要公布了:本实用新型揭示了半导体器件加工设备及移载机械手,其中半导体器件加工设备包括承片台以及用于将所述承片台上的工件吸附并移载到预定位置的移载机械手,所述移载机械手包括真空吸盘,其特征在于:所述真空吸盘设置在一环形组件的背面,所述环形组件的内部形成有介质通道,所述介质通道的下方与一圈围设在所述真空吸盘外周的通孔连通,所述介质通道还与所述环形组件上的接头连通。本实用新型的移载机械手能够在吸附工件时,在工件的周围形成气幕或水幕,能够最大程度地隔绝加工箱内的水雾与工件下方的空间,从而避免承片台反吹气时,工件下方的水雾被吹到工件的背面,造成工件背面污染的问题。
本实用新型半导体器件加工设备及移载机械手在权利要求书中公布了:1.半导体器件加工设备,包括承片台以及用于将所述承片台上的工件吸附并移载到预定位置的移载机械手,所述移载机械手包括真空吸盘,其特征在于:所述真空吸盘设置在一环形组件的背面,所述环形组件的内部形成有介质通道,所述介质通道的下方与一圈围设在所述真空吸盘外周的通孔连通,所述介质通道还与所述环形组件上的接头连通;所述环形组件的顶部通过一组连杆连接在一连接盘上,所述连杆可相对所述连接盘上下移动且通过位于所述连接盘上方的限位块限位在所述连接盘上,所述环形组件和连接盘之间还设置有弹性件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏京创先进电子科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市常熟市经济技术开发区海城路2号9幢;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励