芯恩(青岛)集成电路有限公司胡敬源获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利受力均匀的顶针结构和静电卡盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223552515U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422556979.2，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型受力均匀的顶针结构和静电卡盘是由胡敬源;郭享;关策设计研发完成，并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本受力均匀的顶针结构和静电卡盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种受力均匀的顶针结构和静电卡盘，其中顶针结构包括承载机构以及设置于承载机构下方的顶针驱动机构；承载机构上设置有多个与顶针一一对应的顶针通孔；顶针驱动机构包括通过弹性支柱由上而下依次连接的顶针移动板、至少一个校准基板和驱动底板，顶针移动板上设置有多个顶针，顶针一端固定于顶针移动板上表面，顶针另一端穿过对应顶针通孔，驱动底板上设置有至少一个驱动器，驱动器的驱动轴穿过所有校准基板与顶针移动板固定连接；驱动器驱动驱动轴运动时，驱动轴通过顶针移动板带动所有顶针在其对应顶针通孔内做向上运动或向下运动。本实用新型提高顶针移动板和驱动底板之间水平稳定性，尽量避免顶针移动板在运动时发生倾斜。
本实用新型受力均匀的顶针结构和静电卡盘在权利要求书中公布了：1.一种受力均匀的顶针结构，其特征在于，包括承载机构以及设置于所述承载机构下方的顶针驱动机构；所述承载机构上设置有多个与顶针一一对应的顶针通孔； 所述顶针驱动机构包括通过弹性支柱由上而下依次连接的顶针移动板、至少一个校准基板和驱动底板，所述顶针移动板上设置有多个顶针，所述顶针一端固定于所述顶针移动板上表面，所述顶针另一端穿过对应所述顶针通孔，所述驱动底板上设置有至少一个驱动器，所述驱动器的驱动轴穿过所有所述校准基板与所述顶针移动板固定连接； 所述驱动器驱动所述驱动轴运动时，所述驱动轴通过所述顶针移动板带动所有所述顶针在其对应所述顶针通孔内做向上运动或向下运动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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