友上智能科技(苏州)有限公司王致壬获国家专利权
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龙图腾网获悉友上智能科技(苏州)有限公司申请的专利用于湿制程智能搬运机器人去水滴夹爪获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223552516U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422606101.5,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型用于湿制程智能搬运机器人去水滴夹爪是由王致壬;钟秋振;张番设计研发完成,并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于湿制程智能搬运机器人去水滴夹爪在说明书摘要公布了:本实用新型涉及硅片加工设备技术领域,尤其涉及一种用于湿制程智能搬运机器人去水滴夹爪。其包括夹紧电缸、分别设置在所述夹紧电缸两端且受所述夹紧电缸驱动的加持板、分别设置在所述两侧加持板底部的加持块、以及分别对应着两侧加持块设置且分别安装在所述夹紧电缸底部的清洁组件,所述清洁组件包括倾斜安装在所述夹紧电缸底部的清洁安装板、分别通过固定件安装在所述清洁安装板上左右两侧的左清洁气缸和右清洁气缸。本实用新型的有益之处:本技术方案通过在夹紧电缸的底部设置清洁组件,通过清洁组件将加持块上的水分清除,从而确保加持块上没有残留的而水分,确保工作环境的洁净。
本实用新型用于湿制程智能搬运机器人去水滴夹爪在权利要求书中公布了:1.一种用于湿制程智能搬运机器人去水滴夹爪,其包括夹紧电缸,其特征在于:还包括分别设置在所述夹紧电缸两端且受所述夹紧电缸驱动的加持板、分别设置在两侧所述加持板底部的加持块、以及分别对应着两侧加持块设置且分别安装在所述夹紧电缸底部的清洁组件,所述清洁组件呈八字型设置在所述夹紧电缸底部,且分别对应着左右两侧的加持块设置,所述清洁组件包括倾斜安装在所述夹紧电缸底部的清洁安装板、分别通过固定件安装在所述清洁安装板上左右两侧的左清洁气缸和右清洁气缸,所述左清洁气缸和所述右清洁气缸中间呈夹角交错设置,且所述左清洁气缸和所述右清洁气缸的出气路径互不干扰。
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