江苏亚电科技股份有限公司李刚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏亚电科技股份有限公司申请的专利一种晶圆升降装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223552517U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422736028.3，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆升降装置是由李刚;童建;周兴江;吴鹏涛;沈文镇设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆升降装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆升降装置，属于晶圆清洗设备技术领域。本申请的晶圆升降装置，固定齿用于承接未清洗的晶圆，当机械手抓取晶圆放置到固定齿上前，对应高度的升降齿先下降到低于对应高度的固定齿，由固定齿先支撑晶圆，而后竖直移动座驱动晶圆进入清洗设备内进行喷气清洗，清洗完毕后，升降齿上升，顶起晶圆，使晶圆脱离与固定齿的接触，脱落接触后也可以再进行一次喷吹，也就是升降齿用于承接已经清洗完的晶圆，而后竖直移动座下降，通过水平位移机构将清洗完的晶圆移动到下一个工位。因此本实用新型的晶圆升降装置，能够通过分别支撑清洗前和清洗后，防止赃物通过支撑的齿污染清洗后的晶圆，提高晶圆的清洁度。
本实用新型一种晶圆升降装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆升降装置，其特征在于，包括： 竖直位移机构2； 竖直移动座3，设置在竖直位移机构2上，能够受竖直位移机构2动作而做竖直位移； 旋转座4，设置在竖直移动座3上； 旋转机构5，设置在竖直移动座3上，用于驱动旋转座4转动； 固定齿6，设置在旋转座4顶端； 升降齿7； 升降机构8，设置在旋转座4上，用于驱动升降齿7在高于固定齿6的位置到低于固定齿6的位置之间移动。
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