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龙图腾网获悉罗伯特·博世有限公司申请的专利用于转速传感器的微机械构件及其制造方法、转速传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113566805B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110468068.2，技术领域涉及：G01C19/5712；该发明授权用于转速传感器的微机械构件及其制造方法、转速传感器是由M·屈内尔;N·F·库尔曼;R·毛尔;R·舍本;S·梅尔基施;T·巴尔斯林科;W·盖格尔设计研发完成，并于2021-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于转速传感器的微机械构件及其制造方法、转速传感器在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于转速传感器的微机械构件，所述微机械构件具有带有衬底表面10的衬底、一件式的第一转子质量12a和微机械构件的至少一个第一部件22a，22b，38a，38b，所述第一转子质量能够被置于围绕垂直于衬底表面10定向的第一旋转轴线18a的第一扭转振动运动16a中，其中，第一转子质量12a通过至少一个第一弹簧元件26a附接到所述至少一个第一部件22a，22b，38a，38b上，其中，至少一个第一弹簧元件26a分别延伸通过第一转子质量12a上的各一个侧向凹口28a并且附接到第一转子质量12a的缩回的边缘区域上。本发明还涉及一种转速传感器和一种用于转速传感器的微机械构件的制造方法。

本发明授权用于转速传感器的微机械构件及其制造方法、转速传感器在权利要求书中公布了：1.一种用于转速传感器的微机械构件，所述微机械构件具有：带有衬底表面的衬底；一件式的第一转子质量，所述第一转子质量能够被置于围绕垂直于所述衬底表面定向的第一旋转轴线的第一扭转振动运动中；和所述微机械构件的至少一个第一部件，其中，所述第一转子质量通过至少一个第一弹簧元件附接到所述至少一个第一部件上；其特征在于，所述至少一个第一弹簧元件分别延伸通过所述第一转子质量上的各一个侧向凹口并且附接到所述第一转子质量的缩回的边缘区域上，所述侧向凹口是所述第一转子质量的在侧面构造的凹入部或凹陷部，其中，所述微机械构件附加地包括一件式的第二转子质量，所述第二转子质量相对于所述第一转子质量关于对称平面镜像对称，所述对称平面垂直于所述衬底表面地定向并且与所述第一转子质量和所述第二转子质量居中地相交，并且所述第二转子质量能够被置于围绕平行于所述第一旋转轴线定向的第二旋转轴线的第二扭转振动运动中，所述第二扭转振动运动相对于所述第一扭转振动运动相移180°，其中，所述第二转子质量通过至少一个第二弹簧元件附接到所述微机械构件的所述至少一个第一部件上和或至少一个第二部件上，其中，所述至少一个第二弹簧元件分别延伸通过所述第二转子质量上的各一个侧向凹口并且附接到所述第二转子质量的缩回的边缘区域上，其中，所述微机械构件具有第一对驱动结构作为所述至少一个第一部件并且具有第二对驱动结构作为所述至少一个第二部件，其中，第一对驱动结构和第二对驱动结构中的位于所述对称平面的第一侧上的第一驱动结构相对于第一对驱动结构和第二对驱动结构中的位于所述对称平面的第二侧上的第二驱动结构关于所述对称平面镜像对称，其中，第一对驱动结构的第一驱动结构能够被置于平行于所述对称平面定向的第一谐波振动运动中，第一对驱动结构的第二驱动结构能够被置于平行于所述对称平面定向且相对于所述第一谐波振动运动相移180°的第二谐波振动运动中，第二对驱动结构的第一驱动结构能够被置于所述第二谐波振动运动中，并且第二对驱动结构的第二驱动结构能够被置于所述第一谐波振动运动中，使得借助被置于其相应谐波振动运动中的四个驱动结构，两个转子质量被置于其相应的扭转振动运动中，其中，所述微机械构件附加地具有第一对振动质量和第二对振动质量，其中，第一对振动质量和第二对振动质量中的位于所述对称平面的第一侧上的第一振动质量相对于第一对振动质量和第二对振动质量中的位于所述对称平面的第二侧上的第二振动质量关于所述对称平面镜像对称，其中，借助被置于其相应扭转振动运动中的所述两个转子质量和或借助被置于其相应谐波振动运动中的所述四个驱动结构，四个振动质量能够被置于平行于所述对称平面定向的谐波共振运动中，其中，两个第一振动质量附接到第一耦合摇杆上，并且两个第二振动质量附接到第二耦合摇杆上，其中，第一耦合摇杆和第二耦合摇杆中的每个都能够围绕与相应的耦合摇杆居中地相交且垂直于衬底表面定向的摇杆轴线倾斜。

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