三星显示有限公司都永洛获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利制造纳米棒的方法以及通过该方法制造的纳米棒获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113921380B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111173898.9，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权制造纳米棒的方法以及通过该方法制造的纳米棒是由都永洛;成演国设计研发完成，并于2017-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本制造纳米棒的方法以及通过该方法制造的纳米棒在说明书摘要公布了：提供了制造纳米棒的方法。制造纳米棒的方法包括以下步骤：提供生长衬底和支承衬底；在生长衬底的一面上使纳米材料层外延生长；在支承衬底的一面上形成牺牲层；使纳米材料层与牺牲层结合；从纳米材料层分离生长衬底；使纳米材料层平坦化；对纳米材料层进行蚀刻以形成纳米棒；以及去除牺牲层以分离出纳米棒。
本发明授权制造纳米棒的方法以及通过该方法制造的纳米棒在权利要求书中公布了：1.制造纳米棒的方法，所述方法包括： 提供生长衬底和支承衬底； 在所述生长衬底的一面上外延生长材料层； 在所述支承衬底的一面上形成牺牲层； 将所述材料层的上表面与所述牺牲层的上表面结合； 从所述材料层分离所述生长衬底； 通过垂直地蚀刻所述材料层至所述牺牲层的所述上表面形成纳米棒；以及 通过去除所述牺牲层分离所述纳米棒， 其中，所述外延生长所述材料层包括： 在所述生长衬底上形成第一材料层； 通过使用电化学蚀刻对所述第一材料层进行蚀刻以形成多孔性材料层；以及 在所述多孔性材料层上形成第二材料层， 其中，所述牺牲层结合到所述第二材料层的上表面，以及 所述从所述材料层分离所述生长衬底包括去除所述生长衬底的所述多孔性材料层，以从所述第二材料层分离所述生长衬底。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三星显示有限公司，其通讯地址为：韩国京畿道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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