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龙图腾网获悉戴尔米克知识产权私人有限公司申请的专利用于检测一个或多个扫描带电粒子束的设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114072681B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080041549.9，技术领域涉及：G01Q60/44；该发明授权用于检测一个或多个扫描带电粒子束的设备和方法是由L·M·沃特曼;A·P·J·埃夫廷设计研发完成，并于2020-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于检测一个或多个扫描带电粒子束的设备和方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于检查样本的设备。所述设备包括：用于保持样本5的样本保持器10；带电粒子列7，8，其用于产生一个或多个带电粒子束并将一个或多个带电粒子束聚焦在样本上的一个或多个带电粒子束点处；扫描偏转器，其用于使得所述一个或多个带电粒子束点在样本上移动；光子检测器4，其配置成当所述一个或多个聚焦的带电粒子束撞击在样本上时或者当所述一个或多个带电粒子束在透射通过样本之后撞击到发光材料层6上时检测产生的光子；光学组件2，其用于将来自所述一个或多个带电粒子束点的所述光子的至少一部分沿着光束路径投射或成像到所述光子检测器上；以及移位单元3，其用于使光束路径和或光子检测器相对于彼此移位。

本发明授权用于检测一个或多个扫描带电粒子束的设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于检查样本的设备，其特征在于，所述设备包括： 用于保持样本的样本保持器； 带电粒子列，其用于产生一个或多个带电粒子束并将一个或多个带电粒子束朝向样本保持器引导，其中带电粒子列配置成用于将所述一个或多个带电粒子束聚焦在样本上的一个或多个带电粒子束点处； 扫描单元，其用于沿扫描方向在样本上扫描一个或多个带电粒子束点； 光子检测器，其用于当所述一个或多个带电粒子束撞击在样本上时或者当所述一个或多个带电粒子束在所述一个或多个带电粒子束透射通过样本之后撞击到发光材料层上时检测由所述一个或多个聚焦的带电粒子束产生的光子； 光学组件，其用于沿着光束路径将来自所述一个或多个带电粒子束点的所述光子的至少一部分投射或成像到所述光子检测器上的一个或多个光点上，其中所述光学组件包括布置在样品保持器和光子检测器之间的光束路径中的折叠式反射镜或多面体反射镜，其中所述折叠式反射镜或所述多面体反射镜配置成以0度和180度之间的偏转角反射光束路径；以及 移位单元，其用于使一个或多个光点和或光子检测器相对于彼此移位，其中所述移位单元包括反射镜致动器或第一旋转致动器，所述反射镜致动器配置成用于调节折叠式反射镜的倾斜角度，所述第一旋转致动器配置成用于旋转多面体反射镜，其中所述移位单元配置成至少部分地补偿由于扫描单元扫描一个或多个带电粒子束点而导致的一个或多个带电粒子束在样本上或在发光材料层上的移动。

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